|
Off-chip crystal resonator replacement: on-chip MEMS resonator
5 M; W- K; e) U* ?3 vKey to adopt on chip resonator: small footprint, lower BOM cost, fewer off chip components...
\9 C- V# F# H4 k. hEvidence indicates mobile device is the booster for MEMS resonator8 X+ \7 u' N' U2 b+ G2 L7 D
----------------------------------------------------------------------------------------------------! `) Y+ g6 N' u+ k# e& }) P' L
有一種採用IC製程打造出機械共振元件的微機電系統(MEMS)振盪器,可以被整合在矽晶片中。傳統的石英晶體需要切割和斜面(beveling)加工,若使用光學微影製程(photolithography),可讓元件的體積更小、並實現較佳的溫度漂移適應性以及低成本、低功耗。+ A5 c: R; M+ { G5 D
+ Y" Q: K1 p" o4 \1 K, m
號稱在全球石英振盪器市場佔有23%比例的日本業者Epson Toyocom,宣佈開發出一種類似半導體微影製程、命名為Quartz MEMS (QMEMS)的技術;而使用該製程技術所製造的產品性能,號稱能與其他MEMS振盪器競爭對手如SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius Microsystems等公司分庭抗禮。
9 c& d" [; p: m- D7 e4 V1 x
5 M) e% s& p0 P「傳統上MEMS是採用矽製程生產,因此我們將新開發的技術命名為QMEMS以示區別,因為我們的材料是石英,不是矽;」Epson Toyocom的Debbie Word表示:「在類似半導體晶圓廠的生產線上使用石英晶圓;光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法都與矽MEMS晶片製程差不多,指不過使用的是石英材料。」
. M: f- }# A* V- r0 a/ v; w
1 Y% B9 J3 B6 h+ }+ y* E壓電石英晶體是系統中的標準元件;只要用小電流通過,石英晶體會產生一個固定頻率的振盪,且該振盪頻率可不受封裝內溫度變化的影響。石英是一種很容易取得的壓電材料,可透過精密的切割或斜面製程,讓石英振盪器定在某個頻率。
* n# L; n9 A C n+ ^" q& Y; Q2 P$ M- i {& V
很多年前,Epson開發了一種光學微影製程,能生產厚度低於2毫米(millimeter)的音叉共鳴器;這個是傳統切割和斜面製程無法達到的。現在該製程技術拿來用在QMEMS振盪器上,因此能打造出性能媲美矽MEMS振盪器的產品。, I" P7 J8 F" J1 I- k7 }' B
# ~0 M$ s5 [2 o/ s/ Y) m' m, a
Epson Toyocom還計劃採用QMEMS的製程生產大氣壓力感測器,並且已經採用該製程生產了超小(2* 2mm)陀螺儀,能用於數位相機的防手震功能。8 w$ G- X3 w7 v
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------
5 E" y t. v; ^! g; N |
本帖子中包含更多資源
您需要 登錄 才可以下載或查看,沒有帳號?申請會員
x
|