請問有做MEMS相關的大大嗎?

relax918

小弟目前研究方向是 SENSOR方面的circuit design ..
* ^8 z2 I0 p8 f+ r) S, DSENSOR走入MEMS應該是目前也是未來的趨勢..
但要做整個System.. 這塊餅似乎太大.. 研究所兩年可能吃不完.. 囧
, T1 e& ?! g9 z' k3 {9 l+ S! m所以可能只做後端的 read out ..

. ~. ~% O1 N9 f) @$ ]想請問板上的各位大大~
+ j9 f8 s# `# e( n/ B7 L8 a' t想Reference 前端MEMS SENSOR paper或書籍的話..
我該去哪裡找資料(IEEE之外?)  or  有沒有推薦的書?

semico_ljj

大陆的北大这个研究的不错！

DennyT

大部分的MEMS sensor對物理量的反應都是以電容變化表現，一般是數十到數百fF的量級，要做read out電路就先從微電容轉換與low Cin放大電路開始吧。

sereniva

cmos mems sensor的readout電路是個蠻大的挑戰
# @% @/ d; q* T1 t0 m- @電容變化量只有femto等級，若設計的不夠好很容易讀不到