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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯 5 V- O6 C5 U0 x% |4 j; \: o4 _

% r3 z% r9 K( U8 J! ^/ e各位前輩好; A9 C, G- ^- d4 X& I: O! _

( f' {" g  C8 g' C+ o小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見
8 C' M0 a; F6 S/ a
, f/ R# K; N: N小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
" s, |8 q' ?8 |$ t5 Q% ^
* U' U  m, z% I3 I$ O# F; @( a在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL3 X8 E5 o3 W: M; C1 K3 |

. T5 c. E6 ~* Z/ A) t但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況
% u% T$ a1 M  A+ a) _
. q& ]! e" F, S+ ~
, x. Z$ b: T6 F/ z3 m以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
, s( U* u  a) C9 G( ^& x+ v
/ S/ a; F% G2 W0 ]1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
" W! Y2 e, {2 e2 }# L. w( ~5 A* K! n2 e7 O& A3 x0 i2 z, E
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件8 f2 Y8 O/ y3 y" |# y

1 O4 b. b' m7 ]4 b+ ], m' K9 F我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer
6 h5 `* O6 B$ L* H  S# y) E6 T% X3 U
; H; G+ R) a7 ?: d' Q) K) N( `- i# o
  o) g# m- o; \9 k# z9 C
, k" V: j! ~, C( r8 |若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],
$ a7 G& A8 z2 }) G$ U
& k" V7 _3 [: Y4 C一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
9 K6 K& V/ `, P9 R) B  ^9 @! v% f3 F) M& C' `' o5 W
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了
5 d1 Q% ^9 a9 i' W1 X, g
, _$ c% \4 P+ ^; i( w
' H$ j6 B* _0 V) w1 q& W' x3 e
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