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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
7 y8 y! s* ^; d! l- `
0 D. v9 L4 Q$ ^+ V# V各位前輩好0 }. k7 S; |+ y& s# }

0 F5 z: C1 r: H* Z/ A- T小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見
, X) {  G% ^# o5 V8 e
2 w8 D3 M5 o3 K; p( T  h小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE7 n4 }/ \& k5 H
7 |; i2 V6 w2 m1 J' E/ m7 k
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL
# t7 O* J- l. c6 [8 Q1 M  _1 ^7 r  h9 O/ ~
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況9 P8 e" b7 k$ T9 W- C
0 B' V3 A3 ~5 d" J+ x% r
$ d; v3 }  m+ ~" v; N, A
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:. x8 t4 x3 q* H% |9 N
4 K7 Z6 O# q/ b3 |% e6 O
1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題, F+ d; y5 x4 B
( S: X' L% L, p& O' u
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件8 _1 P  z+ P; [, d. Y+ v$ m

/ [  c0 Z* J' u5 h( F" R我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer! [6 \1 z, _" s3 c
" Q* L; H5 J& |

  }# I$ v" p0 j1 h( O. L5 H* v* p# D$ j, V+ R2 F. M0 O
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],- J- Q) h$ [7 s$ N- j0 @8 W8 L

& s  ^9 y' Y& D! U) F0 ^一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
5 J0 E2 V  s1 E' V# {
/ I$ s' o6 l  {, x: k7 b請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了+ A$ M/ h; i# r& g% i& C
7 b; }' `" M2 }1 x
5 L( O' h% _/ \1 D6 }! U) U
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