如何知道製程參數?

kminmin1

想請問各位大大我使用的製程是UMC18
* M  g: P( Z; \; c' E: j
* g& z) \, @2 C* C% p+ `要如何知道製程的參數?
( s3 A2 Y2 n3 W# n2 r如:Va , λ ,uncox等等...
有試過手算，但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，λ值卻不同
# J) \) w" H2 I6 _8 Tro=1/gds
ro=1/λ*idsat
- `- ~8 s  i- y0 [λ=1/va*L

例:
PMOS(saturation)       PMOS(saturation)
' H/ [# ^6 [  {& kW=25u L=0.5u            W=25u L=0.5u
id   -8.907e-05        -8.588e-05
) @. I4 w& \  Bgds   7.941e-06         5.289e-06
0 U0 `% A. r1 p* C
( d; H/ L/ `5 t* ~算出後:
3 u/ q$ X8 z) j, p/ v- i) Gλ   0.089               0.061
, B: J9 g/ Q# b% Y- g; E

! ~5 u' L+ y! i0 n看有些論文寫說λ是工藝給定的
/ z/ v! o! Z4 i7 L/ Z9 z哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
) E9 ^3 t( A1 F3 \! O' t3 V
( t& S/ _$ @$ P; V1 g0 V. `1 n1 ]

YMCK

沒有辦法知道一個確定的值吧
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
6 M& Z3 \/ N& O. E- v4 @然後再看模擬跑出來的結果下去調整