如何知道製程參數?

kminmin1

想請問各位大大我使用的製程是UMC18
; d5 S/ N1 R7 N9 Y( M1 d1 _: d9 i
: X, e. }6 ]+ F0 }% o6 U' _要如何知道製程的參數?
1 @4 u. L9 G8 @0 Z3 I5 b如:Va , λ ,uncox等等...
有試過手算，但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，λ值卻不同
/ A: L/ H* \. Y0 G, |8 mro=1/gds
; r6 V8 ~+ P4 ^) l* @' u% dro=1/λ*idsat
λ=1/va*L

8 m+ F% ?0 K; S/ ]4 q例:
PMOS(saturation)       PMOS(saturation)
7 N: M0 X: t* `! e! t5 E& X( ]  rW=25u L=0.5u            W=25u L=0.5u
id   -8.907e-05        -8.588e-05
gds   7.941e-06         5.289e-06
6 o, W- d6 o4 W
  {) H/ k# q4 o4 h算出後:
. X. x9 I4 _' O! a. Aλ   0.089               0.061


看有些論文寫說λ是工藝給定的
7 K' h  t# W) p9 O% V哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
4 Z7 x* K6 Q$ n- _" {
" T- [7 ?4 U: R% |. k  Q

YMCK

沒有辦法知道一個確定的值吧
只能先用製程檔提供的初始值下去估計
9 p; T8 i! D3 y' `然後再看模擬跑出來的結果下去調整