關於LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu疑問

layoutarthur824

我在手冊上看到LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu
: E! D. D+ `, }3 f4 i4 @3 GM1好像是單指M1的話
我一直以為Mx是M2、My是M3、Mz是M4以此類推....
% W; ^; _2 v: f4 a. s可是好像不是這樣耶...
3 q$ Z6 L" Z3 N' ]* ~7 }( X8 x可以請各位大大解惑一下那些層是什麼嗎??

bowbow99

在下也看不出那些層是什麼！
+ N, Y7 F" t9 Y1 N" w不知道那些層在手冊裡彼此是什麼關係！

會不會其實是同一層,只是代表不同區塊（瞎猜的）

veteran

請直接查看foundry提供的DRM document.裡頭會有描述。

l690527

document
EX.
     28nm
/ r8 k1 z5 Z+ t  }: G+ l6 u     1P6M5X2Z0T1F2U

chengchishun

表示       metal        厚度