關於LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu疑問

layoutarthur824

我在手冊上看到LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu
8 v3 c1 O$ ~9 H0 k  SM1好像是單指M1的話
我一直以為Mx是M2、My是M3、Mz是M4以此類推....
可是好像不是這樣耶...
5 R5 E: E4 L" T, {$ }* R可以請各位大大解惑一下那些層是什麼嗎??
# u7 d+ F: P% @4 ^; b% R& E0 e

bowbow99

在下也看不出那些層是什麼！
; P2 b9 C+ n1 j/ n$ n+ X* @不知道那些層在手冊裡彼此是什麼關係！
- k0 ?! G: W8 R7 R4 |. S
會不會其實是同一層,只是代表不同區塊（瞎猜的）

veteran

請直接查看foundry提供的DRM document.裡頭會有描述。

l690527

document
EX.
/ ]* p# J) n$ Q/ c7 E1 V     28nm
     1P6M5X2Z0T1F2U

chengchishun

表示       metal        厚度