關於LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu疑問

layoutarthur824

我在手冊上看到LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu
: a" U4 ?* B9 U: {. qM1好像是單指M1的話
: C& ?1 `% |- X2 y4 ?9 k3 J% a我一直以為Mx是M2、My是M3、Mz是M4以此類推....
可是好像不是這樣耶...
可以請各位大大解惑一下那些層是什麼嗎??
  u" n% q+ i6 V- k3 [

bowbow99

在下也看不出那些層是什麼！
0 }0 h* A  W5 x0 f) d* n0 f不知道那些層在手冊裡彼此是什麼關係！
, S0 [' t+ o5 z6 R
, F3 C0 I1 O; u. s9 E0 Z會不會其實是同一層,只是代表不同區塊（瞎猜的）

veteran

請直接查看foundry提供的DRM document.裡頭會有描述。

l690527

document
9 V# T* T$ l6 O0 X" rEX.
4 f, z1 ^6 i6 S5 s' ~     28nm
     1P6M5X2Z0T1F2U

chengchishun

表示       metal        厚度