何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide

372412

在書上常見到  field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
6 O) G. c% [) k- Z( y' p: S但是真是讓這些名詞給搞亂了，不知道有何差別。所以想向網路上各位先進請教
* }3 R  F7 i* Z( h: J不知是否有剖面圖 cross-section 可以參考，已方便做比較。
謝謝

小緯仔

基本上....field oxide = thick oxide 簡單的說就是OD之外的部分....

gate oxide = thin oxide 長在poly 下層的 oxide....