何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide

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在書上常見到  field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide
但是真是讓這些名詞給搞亂了，不知道有何差別。所以想向網路上各位先進請教
不知是否有剖面圖 cross-section 可以參考，已方便做比較。
謝謝

小緯仔

基本上....field oxide = thick oxide 簡單的說就是OD之外的部分....
, C( Q  J& d, z! H8 S2 F; B6 L9 l
' G5 G* e& a7 H0 W* p. b! n. L7 L0 D4 ]- hgate oxide = thin oxide 長在poly 下層的 oxide....