請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
0 [, ]( U8 s4 x& l6 N) k( LX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

5x2y2z = 1p10M

台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
. k' s) |8 d7 \% {  kM2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
4 X5 }  G% v1 f, S8 L+ V2 V) F" Q
  V4 q- ]' l/ L, d. I不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
7 e7 t6 v8 @) ?( \0 z3 p: X5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
+ M7 W% ~/ t" }# c
目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
! \8 N( x0 z: j如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
! O, M8 q7 P5 `: x3 ZYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?
. x9 O! w: ]# b- O2 }1 R
9 D9 _7 _) H5 F. P8 }Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
2 {- {* U6 l3 y: Q# N! m9 J" R) hI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.

+ j5 W  I0 S. s) d  `
0 e7 F! q- U" t0 i% A" S

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
+ L# ]7 |6 Q& \. a: K# k8 t