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[問題求助] 請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

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發表於 2010-4-27 11:21:44 | 顯示全部樓層 |閱讀模式
請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??, T  N8 H# N! S
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
7 }/ c* U' h: D2 f% ~; V8 PX/Y/Z??
發表於 2010-5-21 00:13:47 | 顯示全部樓層
回復 2# vincent_p0593 ! C, _6 W+ T: P5 R" e! i" M
1 P" l; [. |9 g
5x2y2z = 1p10M
, M( i; x, M! _& K; X+ H* m! |# B) Q$ o
台積的metal定義中
8 T' [* I6 X1 H5 U3 }M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
4 G% \. Z9 _$ |M2以上為 X 代表一倍厚度
9 B% w& r  o: r0 y# D3 ~6 S3 |M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
+ p, k' |7 z6 ^/ X2 a# o3 B$ f0 W% l
* d* ~/ J- U9 s" i4 o9 u3 G5 m不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
; a' J* x, ]! y5 X
; u1 G5 Q4 k3 d1 i7 Y0 \2 l1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
$ v2 A5 M- k* |$ L* s) H. u詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到
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 樓主| 發表於 2010-4-29 12:09:04 | 顯示全部樓層
自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
2 k1 g% a# N% Q) w) Z5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
! W& l4 l  {1 T) F$ b( X每個process node各有其定義的厚度給x,y,z, u  W8 f" P0 ?2 w$ f5 w
, ]" L% h) L8 F5 `: ^
目前的了解,...歡迎補充.
 樓主| 發表於 2010-5-24 17:45:12 | 顯示全部樓層
了解所述, 感謝!9 k+ a) K2 _  i$ S% P
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
6 Z- }- N2 G+ G$ r" _/ kYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍" d5 _. M  Y( |: p$ B6 |% ^
Y, YZ, Z都可當top metal?) x* Y# P7 Y1 k4 I6 u
$ z$ B2 ]* K( u/ Q* R; Q' o+ i! f
Thanks in advance.
發表於 2010-6-1 22:53:54 | 顯示全部樓層
要看哪一個process ~~ 有些有提供Y當top metal 的. 要把design rule翻出來看.
發表於 2015-11-24 14:59:10 | 顯示全部樓層
原來如此, 長知識了! 感謝!
發表於 2019-3-9 17:16:35 | 顯示全部樓層
Wow
; d9 b& t. [" ^7 W8 V* q- UI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
% T! d7 n) g1 t7 h% ^5 ]) s, `/ B, H& p

3 ^+ H( Q; p. o8 T% T$ p) A
發表於 2020-6-23 23:19:02 | 顯示全部樓層
解了我心中的疑惑 謝謝大大3 H& \5 M$ @. W% F7 P% _
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