請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
( Q/ l+ Y7 k5 S2 l( |一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
- O) q: }" R/ L3 oX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593
8 q" W3 F- w7 X3 X& }
5x2y2z = 1p10M
$ r" H/ n3 E9 E. e& I
( u7 H6 P% ^) I% f/ V台積的metal定義中
2 T9 Z" S7 p+ w/ `' M+ K/ _M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
M2以上為 X 代表一倍厚度
' f! A1 P6 z! I! h$ c2 IM5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
7 U! K% s$ [* ?% O: l5 v
2 W6 I/ C/ Q, G* O- B不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
) m* P% a/ d1 G: v1 y# t詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
; ^# f- U2 ?0 s6 y9 c5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
$ j" D3 `& N- X( z4 @) }2 t
) k+ s/ P, r, S$ X3 i目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
( v0 G+ n4 M7 X# g! yY, YZ, Z都可當top metal?
0 n6 S0 T7 B0 B: q9 k3 ]5 g4 `
Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
) b8 [, T: M- jI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大