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可以將寄生電容寫成元件
我以前在做電容式的指紋偵測也有類似的問題1 h. k P; [/ V% _
我是改寫LVS的command file
% n: p( y* C0 V' ^8 J8 L O. ~ H將寄生電容改寫成實際的元件
* S$ H _" B H" i8 n* Q- a( f舉例來說5 @) v- D7 k9 b( R; B9 S( E) A
M1 M2的寄生電容 一般的design fF級不care
9 X7 a# Q5 o$ c但是敏感的元件對寄生很care
, K3 `: a, J3 A6 }& s6 g. E* g這時候你改寫LVS command file 以M1 M2再加上自己定義的dummy層9 g0 ]4 a% Y. q
M1+M2+dummy為一個實體元件3 U& K( B9 c ~2 ]6 k
同理其他的寄生元件也可以寫成lvs元件
) t2 P3 b' C/ R; `' q6 b0 n寄生電容的大小可以自己計算或者查詢晶圓廠提供的 interconnection 相關的電容值
3 b. ~4 B9 i9 r& D7 L但是我建議自己計算 因為晶圓廠提供的資料有時候也是錯的
. a8 c a( y, }( H自己驗證計算後比較保險些 oxide的介電係數約3.9 -4.1
9 k' l& d4 D' y厚度的資料可以在晶圓廠提供相關的資料中查到
$ V8 T, V5 S$ E$ j6 n- p- U# g+ V要注意0.5um以前的製程 並沒有做平坦化/ b; f* `! [2 n1 F9 s7 [, ?) y8 \
所以你的電容算出來與實際並不會很準
( F, a; ~" P6 m i6 E# G3 L修改command file是RD的本職學能之一$ c0 ]! q+ T4 F" y3 Z; p* r
command file沒有的就自己加進去- o5 _' X1 ^" V9 c9 J2 u- c
軟體online document就有寫修改的語法
, \% f: m: J5 T3 C( w讀過之後你一定也會改的 加油 |
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