0.35製程pad的問題

yoyo20701

小弟最近為的下線~~遇到一個問題~~始終找不到錯誤~能否麻煩大大幫小弟解答一下~
小弟的pad在drc時出現錯誤~~但是它並不是所容許的錯誤~~
. m' a/ J7 Z' [4 C" g而且小弟是用內建裡的整個pad(它幫我畫好的那種(總共有24個pad))
去跑drc的~~但它所出現的錯誤~並不是技術檔案所容許~~~~~~
7 j% p; r3 s  M1 y2 c" ]1 z. K( N錯誤如下:
        1.check OD.R.1.WARN-2 Resules
; ^0 O8 k3 J4 G/ M1 z( G' V1 `         OD.R.1.WARN { @ OD without implant
          OD NOT IMP}
3 H( m; {. r! z7 E9 e4 O         2.check M2.S.1.WARN-35 Resules
& c) t, r9 c1 {* D* k: u9 ~            M2.S.1 {@ M2 spacing < 0.50
           EXT M2 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}
- z+ K+ X. F7 n, C) k3 Z& L) l+ E          3.check M3.S.1.WARN-3 Resules
8 v- m6 D: x# e, x               M3.S.1 {@ M3 spacing < 0.50
            EXT M3 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}
. \8 s& \6 o2 z% f, k/ [1 E: }- p
& ]& Z' \/ e& v4 [' Q              請大大幫解答~謝謝~

Shouwei

妳的2、3點所指的是
2. Metel2跟Metel2中間的最小間隔需要有0.5μm，可是您沒有達到(共有35處)
4 b) w/ |! |6 b7 n1 k- p' N$ w) w3. 同上(共3處)

4 q$ _4 y! |$ A, J4 D第一點是說您的diffusion沒有離子值入區的樣子，小弟是沒遇過啦
只是在想，會不會是您沒有畫出pmos或是nmos，可能要慢慢找一下

: ?; ?  u  i: d其實您可以直接點下去DRC上面所寫的座標
就可以看到了，到底是哪出了差錯；第1點就需要這樣慢慢Try了~
不過，您的文中沒有提到，有沒有就單純的core做驗證呢？如果有還會這樣的話
可能是pad沒有放得很好唷，在放pad時，要把grid調到0.01μm才會對得好，我的經驗@!@
9 y8 K( e+ L. |( P0 A* ?- q
最近下線都要postsim囉，要記得跑一下@!@
! S/ _( {6 w* }. J最好是掛PAD上去再POSTSIM一次，這樣應該會比別人好過~

edengod

1.check OD.R.1.WARN-2 Resules5 h  E% X6 ~, E$ ~: E9 _
         OD.R.1.WARN { @ OD without implant0 s7 r0 R9 b1 e7 o/ ]
5 Y  ~: p* U5 U          OD NOT IMP}3 N; C: S' y2 V' ?: T
有 diffusion 沒蓋到 implant  或 p/n implant 重疊(若是這樣 drc commfile 寫的不好)
6 P  x5 q; D0 ?. \4 V! k, ]
& c5 Q; u4 r* a* Y& A7 I2.3
& E2 x6 h5 N" }8 `Metel2/3 跟 Metel2/3 中間的最小間隔需要有0.5μm
或不是轉90度角.

yoyo20701

小弟找到那3個出錯的pad~單獨模擬那個pad~~結果有一個pad出現
0 L2 z4 z& z- r7 }% R1.check M2.S.1.WARN-35跟3.check M3.S.1.WARN-3的錯~~另外2個pad各有1個
check OD.R.1.WARN-2 Resules~~~我是單獨跑的~~也不知道為什麼會出錯~
而且~~萬大大一個問題~pad不是都cic畫好的~~我們不是只有引用而已嘛?為什麼只單獨跑就出錯~~而且還是不容許的錯~~麻煩大大幫解答一下~~謝謝

Shouwei

載新的來試試吧XD
& ~( j/ `' L) z) f& d/ n: [& ^- U. w@!@ 唯一能想的，不然妳就真的點drc上面說的座標，去看到底是哪裡出錯
: c( d; @; _" k$ Z5 M唯有慢慢找了，因為小弟引用也沒有遇過

李寶容@FB

現在正再畫IO
大家的回答都超有用的!!