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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的( R5 Q0 f0 g; k7 {* X
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
1 {8 C$ o5 A1 C所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK8 ?: U' S; R3 U
我認知的步驟如下:
( w7 t$ v7 q/ A5 A! w) ?) d
1 W: r: M4 B7 m1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
8 j7 D; W( f. f! r' Q4 m 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
: t [; J, g+ O2 D' F# } Z0 P+ _) j3 M
2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)8 d) z9 j7 e+ W9 m, S
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch0 D# B1 c! m+ f2 D/ u
如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量$ c. b; C+ {; |/ H
選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)9 J/ X8 C: n! k0 F. x5 f' L4 U
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的 c( t. \5 S* c$ q* ?- k4 ^* E
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯# m+ @4 Z( M; u6 u3 n; Q7 Y
7 l) y/ S8 ?# M% {' h( l% f
3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift
! s9 N$ M9 g: P4 [- [3 d 把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看# y: _1 F* c' `/ ~: ~
# n; v# J5 k) y; }: b4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的0 g9 C- r' X# H: w
( ` d- {* O4 U2 |, m
5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc ! I- D" D3 Y. x
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ u) C2 V: R4 n0 u/ g; N# r1 H
* l. ~: M, x# @4 ^( h7 U這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充." ?9 r" @; a7 I/ b) S
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