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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯 : Y# a! m* d! Y  O
8 l6 x% g7 L) Z. \! N; V, n
各位前輩好. E: H5 \& f! O

6 E( g' z& |3 o3 E0 e小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見2 L; q, G  U9 O# N

; R2 G: t( J5 K/ T+ d6 q6 \1 P0 e小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE, G, c' o/ {; }+ e, [

" c  n( m" S* t8 B, q, u在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL: v8 R) o2 a- H9 t

$ d+ K9 N- P; N2 g4 |& P8 f* _但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況/ d; D9 ~5 }1 E5 v% O) {7 I+ J
2 `# D: {: \( S
; b' R3 c, b. c$ u
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
; y* m5 l# d# O0 N" j
  ]' @4 n) G* ~1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題7 j( [6 W+ L. u
% j7 V! J3 [0 M# g7 B
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
% s! f( @1 c& V4 b9 A' k; q% L6 m
我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer
! X# l0 _5 N# a7 G' O% ^% M% F% [6 l* ]+ x" M

1 Q' {4 c- I5 z5 E: \! ?" X" g1 G: p
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],& D% `( Z  B; C* O

6 h, h# I; D( c一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
: F5 f% G, E& T9 h1 h1 B& }1 W% T5 Q
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了
8 [( j& Q: g6 t4 ^, [2 |7 K% D2 b/ x  I9 o& o, ~+ B1 G5 l" A

" r/ j# E! d$ e! H0 g5 e; f
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