請問有做MEMS相關的大大嗎?

relax918

小弟目前研究方向是 SENSOR方面的circuit design ..
% G3 @  k& l& [. S3 c. ?0 HSENSOR走入MEMS應該是目前也是未來的趨勢..
" M% r! Y2 I: Y& z但要做整個System.. 這塊餅似乎太大.. 研究所兩年可能吃不完.. 囧
所以可能只做後端的 read out ..
. _" ^, U( N  b
* p5 M2 i0 A$ X+ E# t& a  t想請問板上的各位大大~
4 S1 h& i- g% ?+ E想Reference 前端MEMS SENSOR paper或書籍的話..
我該去哪裡找資料(IEEE之外?)  or  有沒有推薦的書?

semico_ljj

大陆的北大这个研究的不错！

DennyT

大部分的MEMS sensor對物理量的反應都是以電容變化表現，一般是數十到數百fF的量級，要做read out電路就先從微電容轉換與low Cin放大電路開始吧。

sereniva

cmos mems sensor的readout電路是個蠻大的挑戰
4 k. y0 [( V% W9 S& J電容變化量只有femto等級，若設計的不夠好很容易讀不到