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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯 . q( ~; z! k- ]" q

+ K+ I0 l$ F, [. ]% k各位前輩好
) M7 }& w# O% L
6 Z5 |: `2 h2 u1 A2 J! v小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見& d- U, a/ M0 y6 V! }+ \' ]  }7 n0 T
: F" G0 D5 F0 e& O/ i* k; ~
小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
& p$ F& f' f, C) }6 `% d9 ?, p0 j- C5 b4 V# A; f4 \
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL' z/ l/ e. b8 n6 t4 l& l# _" G7 g
2 I8 w8 E) t$ \# a$ O
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況, b/ f4 @" a- C$ _# x2 E" M0 f( i9 D
' e/ d: v9 U  T
/ K$ N3 X4 j! j! i" J4 ^. Q( Y
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
8 k1 P$ w1 G% q2 t: n- D% U! {$ ^* W" Z
1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
5 P; D2 n( F1 i5 z: I6 Q* I6 Q' i9 M/ C. n; q# ]' c
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
8 s9 P' g. I$ F& L* w
+ s/ W6 u# n/ E+ M+ y# b: y) t. x我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer# |% {5 L- l+ Q9 g  O4 J' D
. P+ s0 q) S. j0 K, b9 w
5 b* H- |+ p  F% @

- }7 _0 G$ U' S# B- k; @/ e+ a5 X: `若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],0 j' M7 e( Y8 T

* H& d9 I7 s2 s# M& z$ d% g一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。5 h) C& n' J  Q2 r# W" \6 ?$ p
8 S+ p" n$ M6 k- ^6 \" Q* s6 n
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了' i* E6 p2 E* t) `3 M

, u2 i  t: e' \/ G3 K
' q+ w( Y% E: m' J7 \- e' ]: O
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