需要加 DUMMY 的時機是?

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需要加 DUMMY 的時機是在何時呢?

vincent_p0593

一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷線, 蝕刻時容易因為 local etch rate 高而斷線. 黃光曝光時也會有bias
; g" \# d, i" ]
9 r2 O4 w! \: h, Epoly 也一樣, 但是加 poly dummy 時要注意是否允許 floating gate 及antenna rule, floating gate可能會使下方 Si 反轉導通, 引起周圍元件leakage. 若不allow floating gate, 還要想辦法把poly 接到ground or Vss.

motofatfat

看你的DUMMY指瞎密
6 A, W: P& Z1 [8 E# F$ O0 g大部分是要match
1 W' C3 T1 S# k; E' _/ ?Metal poly  density  不夠
0 Z) a/ E# P3 e$ B# j% L加ㄉ那些也較 DUMMY
) i) o! p* z$ |2 V& t- d, }& Q# K把POLY 當電阻 ㄉ R_DUMMY  也叫DUMMY

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回復 2# motofatfat

. P, Q% F1 m* e
    感謝樓上的大大
   我所指的是 MOS、R、C 的 dummy

zhifj86

2楼说得没错吧，一般就是匹配啦，要求精度啦

chaojixin

楼上讲的好详细啊，菜鸟拜读路过………………我一直只在考虑match时才用dummy的………………

levimax520

原來不同的元件也需要用到DUMMY阿

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回復 5# vincent_p0593


    感謝您回覆的這麼的詳細
您真強

bernie820

某樓說的很對!!
7 n! c0 ?8 C0 {+ O' p
不過簡單來說
! s& Q1 {2 N& I在製程時食刻會破壞掉你的元件
而特性就被損壞
: N) U0 R3 m6 J
若利用dummy來做犧牲<反正他對電路沒啥用處>
所以蝕刻吃他最多
4 _0 T* }' N3 W1 a, j/ X主要部份特性就不會被破壞

很多的ic design 或layout講座都會提到這一點<必定提到>
所以可以多找網路資料也有

xuguishuang

5楼分析的蛮详细的。。。。。

u9513349

感謝大大的分享
, ?& v: U6 U, P9 D$ t' U8 ~% B5 h
7 `" Y, \& c. f3 X又學到一個知識了!!!

鋒鋒

op的差動輸入我是一定會加
還有電容也要加
若有空間能加的都加也無彷

semico_ljj

“還有電容也要加”，这倒不一定！普通的补偿电容不用的

u9513349

thxs for your shows!!!

and i love it!!!

chone1205

通常會加DMY 都是需要做對稱MOS 或是需要精準的電阻 電容

chaojixin

5#NB！好人啊，讲那么详细！

pph_cq

一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷 ...
8 G3 y6 P5 y4 @. cvincent_p0593 發表於 2010-4-30 09:45 AM

1 P- ]# N. r8 w0 t/ y

) P# {( C+ ^0 T( p$ A0 q    是不是意味着窄线跟宽metal之间要特别注意加上dummy metal呢？

GU

想問一下 dummy metal 是什麼東西??

7 R8 B9 M3 ?) ^. C5 I; m& w, X: f如果MOS DUMMY 是為了補空缺的位置 這樣好嗎??
, d8 o' a3 g1 b3 H/ L
數位電路 加MOS　DUMMY 是否很浪費呢??

chone1205

加DMUUY 是保護match 在蝕刻上為了環境都一樣嚕

吳龢峻

dummy device 也可當 redundant backup devices.