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可以將寄生電容寫成元件
我以前在做電容式的指紋偵測也有類似的問題3 y; @8 N: [0 T
我是改寫LVS的command file+ f& l( m/ Z+ x1 X* k% M0 y% ]: A
將寄生電容改寫成實際的元件
- U( h; V& A0 E9 y7 H舉例來說
, Q0 ]5 [0 c" l0 K- k* kM1 M2的寄生電容 一般的design fF級不care
p1 z) }; r9 C# n+ d5 X' [/ y但是敏感的元件對寄生很care
; M9 g! }2 ]5 A: ~/ _! @1 R! J2 ]這時候你改寫LVS command file 以M1 M2再加上自己定義的dummy層
3 \" h) y# F; D' q1 dM1+M2+dummy為一個實體元件
1 {2 B5 u* l: n4 W5 N同理其他的寄生元件也可以寫成lvs元件) l. X2 f0 f" @
寄生電容的大小可以自己計算或者查詢晶圓廠提供的 interconnection 相關的電容值; h3 ]$ e* [' a( x0 |
但是我建議自己計算 因為晶圓廠提供的資料有時候也是錯的1 n; s' ~& A' O8 z
自己驗證計算後比較保險些 oxide的介電係數約3.9 -4.1
) s. K+ q8 y) j# S! D& _厚度的資料可以在晶圓廠提供相關的資料中查到0 a D' R( \6 Q& g: R( ]! G$ T8 X/ G
要注意0.5um以前的製程 並沒有做平坦化
- B" I5 W4 @) v; i所以你的電容算出來與實際並不會很準3 P/ ^, A# I3 ?. G1 G$ ^- l
修改command file是RD的本職學能之一/ z1 u1 i" i: F8 N$ N/ Q' e1 F) J# K$ J
command file沒有的就自己加進去
. o1 D, F; R! T0 U+ ^- F l軟體online document就有寫修改的語法; W6 w& M6 f9 }+ P) b$ @
讀過之後你一定也會改的 加油 |
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