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可以將寄生電容寫成元件
我以前在做電容式的指紋偵測也有類似的問題
# R" \( h J u$ G1 ~- z我是改寫LVS的command file1 Q* G7 A) A- Y8 p) U# W% H
將寄生電容改寫成實際的元件9 L! J& [1 W! w8 P7 S/ L: Y
舉例來說
4 L1 R4 d, d, w3 QM1 M2的寄生電容 一般的design fF級不care( }3 d: t% x$ a6 n$ ], f4 j) n
但是敏感的元件對寄生很care' g# y$ Z' ^$ J. [5 t
這時候你改寫LVS command file 以M1 M2再加上自己定義的dummy層0 H. H z/ w6 d6 V
M1+M2+dummy為一個實體元件$ J& }1 I" q. O& v! i: P+ h
同理其他的寄生元件也可以寫成lvs元件" d" O2 ^1 i" I* X+ W( L9 O
寄生電容的大小可以自己計算或者查詢晶圓廠提供的 interconnection 相關的電容值" ^8 Q! p/ ]* L1 y$ M* M3 ^
但是我建議自己計算 因為晶圓廠提供的資料有時候也是錯的
- r' {- e% M! `! O) V/ q2 k自己驗證計算後比較保險些 oxide的介電係數約3.9 -4.1% V% B. L+ J) }% B! _ ^
厚度的資料可以在晶圓廠提供相關的資料中查到 o( Q3 F+ Y, q$ U* C
要注意0.5um以前的製程 並沒有做平坦化
3 l1 V+ J- A/ U e" g/ u; V所以你的電容算出來與實際並不會很準- K7 Y7 o8 X2 X
修改command file是RD的本職學能之一
5 f# I, s9 X$ K1 T; j) A% Dcommand file沒有的就自己加進去
* {2 |4 ~/ J0 o6 l: T8 I軟體online document就有寫修改的語法
. n% H7 k, L. _! G0 {讀過之後你一定也會改的 加油 |
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