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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
" o$ N7 X* O" m; D* Z" c( E" s4 W. B6 _
各位前輩好
' u7 f9 J1 \) O" t; |6 m* V8 Q' I1 G6 w3 p1 o
小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見; O: x8 `" f5 a& T6 A
- K0 M6 g* G, j5 y! C
小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
0 B0 r# `6 v, G& K5 j6 K* e3 R, U6 q: E' g4 A
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL
$ L2 ~/ S. b& q" C  M  m% F+ N2 ]0 G5 ]% c( m; V  s
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況$ ^2 ?: b% W. C

2 y* H- g2 Z, e0 Z, a! G' }1 I- U: p% P  c4 S$ q/ b, y3 b
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:$ |+ [3 {6 F& }5 D/ y7 H& J) r6 m( e
3 B8 L! U) L6 W* m
1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題  H) e' `3 q, ?

5 ?! K7 k# R- ^, n6 C+ L2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
3 K7 ?& v  V, R% e* Q/ U" \
! A- }; ~9 _: R  c/ T5 s我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer
  T1 i- w% Q$ h( Z6 ^0 e6 ?6 p& U( z

' z3 M1 U, J- j$ j& J8 V, K! N* y: r0 S
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],
9 y' H( ?5 H" s( i1 f& [3 L1 b5 ?1 }; ~, {! l
一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
$ C/ e" l" K% H  U5 w" C2 C) o1 ~
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了+ I0 B5 }) T0 ^+ |5 Z3 T
7 Y, @6 _; M4 r) z9 b7 f/ E  T1 W( x

- a6 M6 i/ G9 Z; m" T. J
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