如何知道製程參數?

kminmin1 · 發表於 2022-7-7 15:03:03

想請問各位大大我使用的製程是UMC180 n3 k, r# r# G& [! m" g8 a

. U, Z; W. I3 Y+ C5 Z6 o* p要如何知道製程的參數?
, u9 ]9 q6 H, M/ K1 Y如:Va , λ ,uncox等等...3 i8 a$ I% Y% W5 r! F
有試過手算，但發現同長度的PMOS在不同電流下(飽和區)，λ值卻不同* P& g% s* T; k7 q
ro=1/gds; J# t7 w& V- ?
ro=1/λ*idsat
6 t6 G; z, T1 T" Z( m$ F$ A; cλ=1/va*L
' {  H4 K2 f4 m, K% R8 O
( n: u$ c; s) S  z3 ^0 h- [例:
+ z; j4 c' s( T% |7 O9 RPMOS(saturation)    PMOS(saturation)3 x" V( j4 b4 }9 z  p) ~& m
W=25u L=0.5u          W=25u L=0.5u0 b6 w2 U  E  u! E
id -8.907e-05       -8.588e-05
; B0 ^- M! L7 ~3 Igds 7.941e-06       5.289e-06
3 L9 D; U; V# q+ N& e7 H; B2 y' S7 o6 k6 R- A
算出後:
! I! x) O) c2 o& ?5 Mλ 0.089             0.061' k" F5 R- `+ ~( y7 I

. D. E) O4 p( J3 c/ P/ M
' U* r: P  |) U+ p+ \看有些論文寫說λ是工藝給定的! O# n0 t* ?/ d  [5 w; I
哪一些製程參數是固定的?還是都是非固定呢?
$ C7 ~  i2 D! z& D+ g" }: X4 v( U, c

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