MEMS resonator

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Off-chip crystal resonator replacement: on-chip MEMS resonator
Key to adopt on chip resonator: small footprint, lower BOM cost, fewer off chip components...  
% S  t- W. \. s% ^1 V7 `Evidence indicates mobile device is the booster for MEMS resonator
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有一種採用IC製程打造出機械共振元件的微機電系統(MEMS)振盪器，可以被整合在矽晶片中。傳統的石英晶體需要切割和斜面(beveling)加工，若使用光學微影製程(photolithography)，可讓元件的體積更小、並實現較佳的溫度漂移適應性以及低成本、低功耗。

. k0 H$ [; A0 T5 }號稱在全球石英振盪器市場佔有23%比例的日本業者Epson Toyocom，宣佈開發出一種類似半導體微影製程、命名為Quartz MEMS (QMEMS)的技術；而使用該製程技術所製造的產品性能，號稱能與其他MEMS振盪器競爭對手如SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius Microsystems等公司分庭抗禮。
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「傳統上MEMS是採用矽製程生產，因此我們將新開發的技術命名為QMEMS以示區別，因為我們的材料是石英，不是矽；」Epson Toyocom的Debbie Word表示：「在類似半導體晶圓廠的生產線上使用石英晶圓；光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法都與矽MEMS晶片製程差不多，指不過使用的是石英材料。」
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. u& D: B6 Y9 u壓電石英晶體是系統中的標準元件；只要用小電流通過，石英晶體會產生一個固定頻率的振盪，且該振盪頻率可不受封裝內溫度變化的影響。石英是一種很容易取得的壓電材料，可透過精密的切割或斜面製程，讓石英振盪器定在某個頻率。

很多年前，Epson開發了一種光學微影製程，能生產厚度低於2毫米(millimeter)的音叉共鳴器；這個是傳統切割和斜面製程無法達到的。現在該製程技術拿來用在QMEMS振盪器上，因此能打造出性能媲美矽MEMS振盪器的產品。
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Epson Toyocom還計劃採用QMEMS的製程生產大氣壓力感測器，並且已經採用該製程生產了超小(2* 2mm)陀螺儀，能用於數位相機的防手震功能。
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