有關動態電路layout的一些問題

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1.因為是數位電路，想請問一下，直接在MOS的diffusion上（已有contact和metal 1)上打一個via到metal 2，再由此metal 2把訊號（Drain or Source)送出去，這樣的layout方式好嗎？

7 R! C: ?8 B" B# i+ s- ~6 N& c-->較不好，因為縱深落差較大

m851055

原帖由 piepie1244 於 2007-9-5 08:14 PM 發表
請問一下 縱深大 會發生怎樣不好的效應呢？？ 謝謝您的回復

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) v+ x+ }% \; G% m" O: k* j在etch時侧壁的metal會etch不乾淨，造成的影響如殘留metal掉到其他導線上，造成leakage......................