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小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!) O- O! J2 d: K/ T6 j) p
而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?) f. x8 i1 g% a
接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^
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/ p( k- Y9 _0 ]規則/說明
( Q( D/ G! g6 L& P( |# gEpd>=2λ :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion or Implant source/drain時,將使source/drain因為
6 S. Q% d) D, K4 h2 O/ b, n diffusion overlap而短路。
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關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢? 還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?
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名詞定義:2 x4 o# l0 }) [! \
i:implantation region
6 H4 E1 N- u' p9 V' C/ W# yimplantation region 這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?
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( }" F, I. {# ]! B$ HEmc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度+ ^ ] k* E( j2 q
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. k. Y5 z9 [$ a, Z9 ~( L) ^上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?, `2 z; O, `3 p3 R
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Opd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的
2 }; ]' P8 A0 k" q contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。( E8 q1 P8 g! b1 |. K3 z
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上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?
b9 L7 j/ n! P- ~還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?: \% K7 Y9 `$ S) S( Z' D0 p
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" E( q* e6 O2 I- A3 X還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?2 d7 O6 ^: c# W! S6 O5 y
所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?; ^+ ]9 Y5 ?' u; z8 G
簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。
; j) y% o/ O6 N" x是有書還是網站有介紹嗎?
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Eig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。, p$ E$ T d2 k! [3 [
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上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?. U. f$ d! C8 G! K2 L" h
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麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題 3q ^^
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9 w3 L5 w* d, _" E. g[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ] |
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