|
Seal ring 主要是防止切割時的應力去damage 到chip,
- C! Z& o6 t$ {+ v可參考各家fab的document, 9 F' G8 ^6 y3 T' C& k& F/ O1 O
根據經驗,seal ring的寬度不用照fab的,可是結構可是一定要參照fab 的方式。
) c' j f% i, t& N" Z) ~因為要考慮到seal ring是介於chip和scrible line中間的,如果設計不好,可能是會造成in-line 的一堆問題。2 y; c+ ~% B) O8 ~* k! _. |$ z
(如製程時的particle無法去除,切割時chip崩落)。5 a+ G! L W) x" u8 K
這些都會造成量產上的困擾1 F5 s9 G% }9 ~7 |
當然請fab加是最好,可是要損失的就是面積的浪費
$ h* f* M& `* A, m( s# Q* D: Q(因為fab的都給的很寬,所以相對chip面積會增加,因為seal ring圍在ic四週,所以增加的面積蠻可觀的)。
Q9 Y! {4 U# b) K; I. w ^大概是這樣! |
|