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imec的廣泛規模研究專案著重於開發200 mm晶圓上的矽基氮化鎵技術,及降低氮化鎵元件成本和提升性能。imec匯聚領先整合元件製造商(IDM)、晶圓代工廠、化合物半導體公司、設備供應商及襯底供應商,已經卓有成效地取得重大技術進步。 : R- A" }7 p. J
# J6 K6 \ m! B& S8 U" e2011年,imec的研究項目成功地生產出200 mm矽基氮化鎵晶圓,使工藝讓標準高生產率200 mm晶圓廠隨手可得。此外,imec開發了相容於標準CMOS工藝及工具的製造工藝,這是高性價比工藝的第二個先決條件。
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安森美半導體資深副總裁兼技術長(CTO) Hans Stork說: 「身為提供寬廣陣容高能效元件的全球20大半導體供應商之一,安森美半導體氮化鎵技術研究已持之多年,如今正在公司的比利時Oudenaarde生產廠建設氮化鎵工藝線。與imec合作,將鞏固我們現有的市場地位,並將可説明我們為客戶增加有競爭力的前沿技術。我們期待與想法相近的公司聯盟協作,在此領域進行前瞻性研究。」 % S |/ U! Q1 [8 o/ n. J
' w" P# ~$ O- |2 d+ T, Mimec智慧系統及能源技術副總裁Rudi Cartuyvels說:「我們的矽基氮化鎵聯合項目持續出現非凡進展,不斷推動降低生產成本。安森美半導體最新加盟成為策略專案合作夥伴,進一步推進我們的集體專業知識。充分利用聯合研究將幫助我們克服邁向經濟的大批量製造的下一個關卡,最終將氮化鎵功率元件上市。」 |
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