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功能強大的ACS軟體 % W4 ~: |: k( v! U3 \8 `, J$ N! g
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S530系統採用功能強大、被廣泛應用在吉時利其他通過驗證的測試系統中的ACS 4.3版軟體。其可提高產品於實驗室的量測準確度,協助產品量產時維持一貫品質(lab-to-fab correlation),並加速系統學習。 ACS結合自動參數測試所需的所有元素於單一整合套件中,以優化S530系統的效率和彈性。
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業界功能最強大的高電壓參數測試系統, h" [( A. z$ b$ K/ [
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所有的S530系統都配備高功率SMU,可在200V和20V範圍內提供高達20W的輸出或汲入能力,對當今可攜式設備內所採用的高功率元件和電路進行完整的特性分析。無論是LDMOS矽或氮化鎵電晶體測試應用,這種更高的輸出功率能力提供了對元件性能更強的檢視能力;它還確保 S530系統能夠在測試高功率元件的同時,仍維持主要元件量測過程所需的低電流sub-picoamp的靈敏度。S530高電壓系統是目前唯一可提供1KV到高達32接腳探針卡的參數測試儀。這允許在單一通道上進行高電壓和低電流的靈敏度量測,以實現高功率元件的準確特性分析。該系統的高電壓SMU可在20mA下輸出高達1000V(最大功率20W)。. N7 ?( i3 Z. \" r) x4 @+ w9 z: g
- z6 r* l, R6 L高傳真訊號通道確保更完整的量測
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每台S530測試系統採用了高性能的矩陣開關和高傳真訊號通道,在儀器和測試接腳之間傳遞訊號。這些通道的性能在較高電流和電壓範圍的設定,以及因偏移電流限制小訊號的量測,均會直接影響到測試系統的整體性能。S530有八個高傳真通道,可以動態地進行儀器與測試接腳之間的轉接。例如,高達八個SMU可同時被接通到任何測試接腳(或數個測試接腳)。低電流系統提供八個通道一致的高傳真性能,高電壓系統提供了兩個高電壓/低漏電通路,四個通用通道以及兩個C-V量測通道。這兩款系統都可進行高達2MHz的C-V量測。 |
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