可透過硬體擴充的源-量測彈性! x) Y" t+ w9 U! ^$ E
每個4225-PMU模組可以配備多達兩個可選購的4225-RPM遠端放大器/開關,從而提供了四種額外的低電流範圍。它們還有助於減少電纜電容效應(cable capacitance effect),並且支援在4225-PMU、4210-CVU和機架中其他SMU之間的自動切換。除此之外,能部份取代4225-PMU電壓源功能的4220-PGU脈衝產生器,也可供您選擇。
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支援材料、元件和製程的特性分析應用- Q0 g7 u& C; t9 v. Q0 t+ m
4225-PMU和4225-RPM結合在一起能夠支援其他單台儀器無法實現的多種應用,例如: $ O: i. Z7 a/ w7 C: V& J* f
" y* s5 H3 x( S, Jl通用Ultra Fast I-V量測。脈衝式I-V測試能被應用在很多地方;透過使用窄脈衝和/或低Duty Cycle脈衝而非直流信號,能夠防止元件自發熱效應(device self-heating)。 lCMOS元件特性分析。4225-PMU/4225-RPM的高速電壓源和電流量測的靈敏度使其非常適於CMOS元件的特性分析,包括high-K元件和先進CMOS技術,如絕緣層覆矽晶圓(Silicon-on-Insulator, SOI)。 l非揮發性記憶體測試。安裝於系統上的KTEI軟體適用於對快閃記憶體和相變化記憶體(phase change memory, PCM)的元件測試;適合單個儲存單元或小規模儲存陣列的測試,例如研發或製程驗證之類的應用。 l化合物半導體元件與材料的特性分析。4225-PMU能夠對III-V族材料進行特性分析,例如氮化鎵(GaN)、砷化鎵(GaAs)和其他一些化合物半導體。它允許使用者設置一個脈衝偏移電壓,然後從非零值進行測量,從而研究元件的放大增益或線性特性。 lNBTI/PBTI可靠性測試。可選購的4200-BTI-AUltra Fast BTI 套裝軟體整合了目前已知、執行BTI測試時所需的所有軟硬體,並具有最快、最靈敏的測量性能。此外,自動特性分析套件(ACS)軟體還支援全自動晶圓和晶舟層級測試,內建NBTI/PBTI測試庫,搭配容易使用的GUI。
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