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來源:北京晨報 王海亮 2006年10月08日 06:30
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" K2 G, ]0 n2 t# e6 E 相關報道:我國積體電路核心裝備研發獲重大突破: O& `/ S# P' d7 |: d# n1 L
/ O; X3 ?! z6 w# H 北京地區正在成為我國積體電路裝備製造業的龍頭。9月28日,晶片製造六大裝備中的兩種——刻蝕機和離子注入機的採購合同在北京簽訂,標誌著國產100奈米製造裝備初步實現了產業化,中國積體電路製造核心裝備由此取得歷史性突破。這一突破能使晶片成本降低,令百姓直接受惠。' J c9 i0 b5 ~$ Y1 F+ d6 `% {6 T
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一個家庭有100顆晶片) _" h, Y, J. p/ ?0 Y. j& s6 k
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“一個城市的普通家庭有約100顆晶片。”市工業促進局電子資訊產業發展處處長梁勝告訴記者。沒有晶片,我們看不了電視,用不了手機,聽不了MP3。沒有了小小的晶片,我們的生活將會完全變樣。0 ?( @1 {1 l, F j! Q& _2 A" N: S
0 y4 s2 `% B7 W* g' u 梁勝介紹說,晶片製造是一個複雜的過程,“生產一顆小晶片共有400多道工序,對精度要求極高,比如刻在晶片上的小槽,只有頭髮絲的1/1000那麼細。” ' o9 `0 _$ v3 ~5 V7 E; C
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各環節中,門檻最高和影響成本最多的就是晶片的製造裝備。其中,刻蝕機和離子注入機兩種裝備則是生產線上的關鍵。3 s5 m: S( a" m
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“以前,我國所有8英寸及以上水準的生產線上,沒有一台國產設備(8英寸指硅片的大小,硅片越大,效率越高,但對技術要求也越高)。”梁勝介紹說。此前的晶片製造裝備必須依靠國外,建一條晶片生產線,幾乎80%的投資是用於購買裝備。但國際上對出口中國的這類設備一直是嚴格控制的,而且即使賣給我國,也將昂貴的製造成本一併轉移過來。“如果有了自己生產的裝備,我們的成本要便宜三分之一。”0 l8 x2 R6 ~( r. t
# z! R9 }6 c) @4 Y ` 縮短與國際先進水準距離
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2002年11月,科技部同意北京市政府啟動“100nm高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機”項目。北京電子控股公司聯合清華大學、北京大學、中科院、七星集團等股東組建北方微電子公司,承擔等離子刻蝕機的研發任務。中國電子科技集團聯合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司,承擔離子注入機的研發任務。* F3 R6 ?6 `* ]; h6 p
9 l6 ~* S P; W, D) M 9月28日,全球知名的晶片代工廠中芯國際公司與北方微電子公司、中科信公司分別簽訂了刻蝕機和離子注入機的採購合同,合同總價值超過1億元人民幣。這標誌著北京市承擔的國家“十五”863計劃積體電路製造裝備重大專項——100奈米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機初步實現了產業化,在晶片製造核心裝備研發方面的技術創新、自主創新取得了重大突破。
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所謂100奈米,指的是硅材上刻的小槽寬度,從以前的0.25微米、0.18微米一直到0.13微米,直到現在進入奈米。這個數值越小,意味著晶片的精確度和集成度越高。
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1 U# C4 f" J$ O6 P “這個重大的創新打破了國際壟斷,降低了晶片成本,能直接令老百姓受惠,在市場上買到更便宜的電視機、手機、電腦等等。”梁勝說。" l' F K% N c9 S H2 F) N' _& ?
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據介紹,北京市于2002年啟動了100奈米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機項目。我國的晶片製造裝備技術本來與國際先進水準起碼差15至20年,這兩種設備研製成功後,現在只差5年的距離了。7 s6 _5 F% i; j3 e
7 a a8 B/ X2 J1 H 目前,8英寸產品已經產業化,12英寸的刻蝕機和離子注入機已基本具備了上線測試的條件,預計年底就可以進入生產線進行線上測試。 |
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