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[問題求助] TSMC 0.18 MIM電容LVS錯誤

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1#
發表於 2008-12-25 14:04:26 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問各位高手.我已經畫好了一個MIM電容.
' J) e6 k# X3 n) p4 [畫法如下.
% L$ Y2 v. e6 N! u1.先打上VIA56; @- G7 i+ M( n& B0 B/ |8 ^
2.用CTM5和Metal6(這兩者同樣大小)覆蓋再VIA56上: u' Y6 @, B( z5 q/ i, h- L
3.再來是Metal5包住.略大於1和20 ?' J' N/ p9 c) b% R4 I
4.最外層用CTM Dummy包起來
' S, W& |4 h: h4 K1 v; W
) Q2 K$ P6 q1 ~. gDRC已經確認過了.但是LVS有誤.! H! C# [9 B. |. K6 C4 O0 I% ]) p
6 Z8 J$ I' F; `# \( E( `' L! ~
LAYOUT NAME                                           ne  SOURCE NAME
8 c( h# j) k5 ]************************************************************************************************  r. I2 J9 l( l) \
C0(-96.425,-81.585) C(M5)                                C0  C(CP)
; j: G0 f( [. g+ z& c
  bad component subtype9 O+ u1 }% M7 {8 s& Q

# P9 m" Y/ I3 b$ u! \6 H/ N1 l3 J9 A$ l: ]' W
請問是不是我有少包了dummy之類的.因為layout好像是只有看到M5.但是.sp檔是識別成電容!
! W; Q& \' _( Q謝謝各位啦!!
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2#
發表於 2008-12-25 15:27:40 | 只看該作者
怎麼看起來你的SP檔是要你畫POLY電容的樣子?( L% j- y1 \' }
你們的MIM電容在netlist裡是定義成怎樣的TYPE?
3#
 樓主| 發表於 2008-12-25 16:49:32 | 只看該作者

回復 1# 的帖子

感謝J大.我已經解決了!, L% U$ ?* }# @8 G
果然是你說的問題.: ~$ E% i! D% x" f7 _, |
我的schematic呼叫錯了!
6 b! |4 W- E5 w6 a6 n5 \& N# Q謝謝你!!
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