小弟有一個問題想問各位高手

astrosummer

同意楼上意见,
* Y' P& T$ P# t3 g& z2 N6 D1.一般top metal是有专门用途的, 另外你所使用制程的厂商一般应该在design rule里面规定使用那一层metal吧.
+ R' d" n1 o9 G* ]& q; \另外 有一些厂家的top metal与其他metal还是有区别的, 比如厚度之类,还有ILD似乎也是有差别的,所以最好遵循rule.
6 y4 d- `* P2 P+ Z) c
: W  _: g, x; ^$ v% _* W% ]- ~4 p2.每增加一层metal就要增加2道光罩,除非你缩小面积的成本能抵消增加光罩的成本.