layout中該注意的事情

world776

布局前的准备:
1 查看捕捉点设置是否正确.08工艺为0.1,06工艺为0.05,05工艺为0.025.
2 Cell名称不能以数字开头.否则无法做DRACULA检查.
& H. f2 ~5 m5 Q$ W3 布局前考虑好出PIN的方向和位置
4 布局前分析电路，完成同一功能的MOS管画在一起
5 对两层金属走向预先订好。一个图中栅的走向尽量一致，不要有横有竖。
6 对pin分类,vdd,vddx注意不要混淆,不同电位(衬底接不同电压)的n井分开.混合信号的电路尤其注意这点.
7 在正确的路径下(一般是进到~/opus)打开icfb.
3 y) s8 F* Y7 f) B( n8 更改cell时查看路径,一定要在正确的library下更改,以防copy过来的cell是在其他的library下,被改错.
9 将不同电位的N井找出来.
2 o; ^$ h- D1 V6 J% X布局时注意:
" N# ^7 i" K3 M10 更改原理图后一定记得check and save
7 b2 @0 r: z) e. u7 G* W$ V11 完成每个cell后要归原点
( N, R" o) ~5 D1 K0 v12 DEVICE的 个数 是否和原理图一至(有并联的管子时注意)；各DEVICE的尺寸是否和原理图一至。一般在拿到原理图之后，会对布局有大概的规划，先画DEVICE，(DIVECE之间不必用最小间距,根据经验考虑连线空间留出空隙)再连线。画DEVICE后从EXTRACTED中看参数检验对错。对每个device器件的各端从什么方向,什么位置与其他物体连线 必须 先有考虑(与经验及floorplan的水平有关).
9 Y4 w( c0 H) @- t! o  w13 如果一个cell调用其它cell，被调用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果没有和外层cell连起来，要打上PIN,否则通不过diva检查.尽量在布局低层cell时就连起来
7 `2 G$ W- a# W8 B" n14 尽量用最上层金属接出PIN。
15 接出去的线拉到cell边缘,布局时记得留出走线空间.
16 金属连线不宜过长；
# X2 ~" q4 t! I. s! H9 J17 电容一般最后画，在空档处拼凑。
0 l$ M: g' w; p4 X6 h18 小尺寸的mos管孔可以少打一点.
19 LABEL标识元件时不要用y0层，mapfile不认。
) L4 n0 K, ]$ H. M4 E% C20 管子的沟道上尽量不要走线;M2的影响比M1小.
; Q  q# r0 l! s21 电容上下级板的电压注意要均匀分布；电容的长宽不宜相差过大。可以多个电阻并联.
6 z5 X' p& ^* a' @5 `3 a22 多晶硅栅不能两端都打孔连接金属。
2 b6 U" h9 z( D' F23 栅上的孔最好打在栅的中间位置.
  ^/ s8 q9 [: C$ W) ?24 U形的mos管用整片方形的栅覆盖diff层,不要用layer generation的方法生成U形栅.
25 一般打孔最少打两个
26 Contact面积允许的情况下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因为电流较大.但如果contact阻值远大于diffusion则不适用.传导线越宽越好,因为可以减少电阻值,但也增加了电容值.
5 s% M6 L1 w$ L27 薄氧化层是否有对应的植入层
! Z- F8 ^9 A$ `" {# S28 金属连接孔可以嵌在diffusion的孔中间.
29 两段金属连接处重叠的地方注意金属线最小宽度
) M0 ?1 P+ L0 \: p% T30 连线接头处一定要重叠，画的时候将该区域放大可避免此错误。
31 摆放各个小CELL时注意不要挤得太近，没有留出走线空间。最后线只能从DEVICE上跨过去。
32 Text2,y0层只是用来做检查或标志用,不用于光刻制造.
+ o" [* d( n' _. h33 芯片内部的电源线/地线和ESD上的电源线/地线分开接;数模信号的电源线/地线分开。
34 Pad的pass窗口的尺寸画成整数90um.
35 连接Esd电路的线不能断，如果改变走向不要换金属层
* }* p- j7 t: P' c4 e& O, z$ Z( M36 Esd电路中无VDDX,VSSX,是VDDB,VSSB.
( u: t9 L7 x' {7 t6 Y3 Z7 y% ~  y37 PAD和ESD最好使用M1连接，宽度不小于20um;使用M2连接时,pad上不用打VIA孔,在ESD电路上打。
* }5 @9 B# F9 V0 t38 PAD与芯片内部cell的连线要从ESD电路上接过去。
39 Esd电路的SOURCE放两边，DRAIN放中间。
40 ESD的D端的孔到poly的间距为4,S端到poly的间距为^+0.2.防止大电流从D端进来时影响poly.
  y, E$ K8 G& _  [; I41 ESD的pmos管与其他ESD或POWER的nmos管至少相距70um以上。
42 大尺寸的pmos/nmos与其他nmos/pmos(非powermos和ESD)的间距不够70um时,但最好不要小于50um,中间加NWELL,打上NTAP.
43 NWELL和PTAP的隔离效果有什么不同?NWELL较深,效果较好.
44 只有esd电路中的管子才可以用2*2um的孔.怎么判断ESD电路？上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD;下拉N管的G/S接VSS,D接PAD.P/N管起二极管的作用.
45 摆放ESD时nmos摆在最外缘,pmos在内.
: _) n0 ~8 O6 U46 关于匹配电路，放大电路不需要和下面的电流源匹配。什么是匹配？使需要匹配的管子所处的光刻环境一样。 匹配分为横向，纵向，和中心匹配。1221为纵向匹配，12为中心匹配（把上方1转到下方1时，上方2也达到下方2位置）21中心匹配最佳。
+ u( j! j3 s/ }47 尺寸非常小的匹配管子对匹配画法要求不严格.4个以上的匹配管子,局部和整体都匹配的匹配方式最佳.
1 E7 B% Z& X* y# K4 p/ \48 在匹配电路的mos管左右画上dummy,用poly,poly的尺寸与管子尺寸一样,dummy与相邻的第一个poly gate的间距等于poly gate之间的间距.
49 电阻的匹配，例如1，2两电阻需要匹配，仍是1221等方法。电阻dummy两头接地vssx。
$ n% h' T# ]* ?5 j' I3 J# h1 V50 Via不要打在电阻体,电容(poly)边缘上面.
51 05工艺中resistor层只是做检查用
52 电阻连线处孔越多,各个VIA孔的电阻是并联关系,孔形成的电阻变小.
53 电阻的dummy是保证处于边缘的电阻与其他电阻蚀刻环境一样.
54 电容的匹配，值，接线，位置的匹配。
55 电阻连接fuse的pad的连线要稍宽,因为通过的电流较大.fuse的容丝用最上层金属.
  C: a  u& D4 I1 b" ^4 g
$ W5 f1 N. Q2 {56 关于powermos
① powermos一般接pin，要用足够宽的金属线接，
② 几种缩小面积的画法。
③ 栅的间距？无要求。栅的长度不能超过100um
57 Power mos要考虑瞬时大电流通过的情况,保证电流到达各处的路径的电阻相差不大.(适应所有存在大电流通过的情况).
58 金属层dummy要和金属走向一致，即如果M2横走，M2的dummy也是横走向
0 t. e! M$ e( z7 f% e8 z59 低层cell的pin,label等要整齐,and不要删掉以备后用.
. b* i8 s9 [% E9 k* K% `60 匹配电路的栅如果横走，之间连接用的金属线会是竖走，用金属一层，和规定的金属走向一致。
6 [" {; X8 b" n) X& c61 不同宽度金属连接的影响？整个layout面积较大时影响可忽略.
62 输出端节电容要小.多个管子并联,有一端是输出时注意做到这点.
4 I$ T% }4 G2 t! j6 }63 做DRACULA检查时,如果先运行drc,drc检查没有完毕时做了lvs检查,那么drc检查的每一步会比lvs检查的每一步快;反之,lvs会比drc快.
64 最终DRACULA通过之后在layout图中空隙处加上ptap,先用thin-oxid将空隙处填满,再打上孔,金属宽度不要超过10,即一行最多8个孔(06工艺)
& n% @2 v0 k0 d+ P! B; Q- v7 ^* s65 为防止信号串扰,在两电路间加上PTAP,此PTAP单独连接VSS PAD.
66 金属上走过的电压很大时,为避免尖角放电,拐角处用斜角,不能走90度度的直角.
. ^) ?/ y0 u& ?0 E0 n5 H67 如果w=20,可画成两个w=10mos管并联
+ }/ A) L8 Y, F68 并联的管子共用端为S端,或D端;串联的管子共用端为s/d端.
出错检查:
69 DEVICE的各端是否都有连线；连线是否正确；
70 完成布局检查时要查看每个接线的地方是否都有连线，特别注意VSSX，VDDX
71 查线时用SHOTS将线高亮显示，便于找出可以合并或是缩短距离的金属线。
- s2 }+ k% A5 c( s" K72 多个电阻（大于两根）打上DUMMY。保证每根电阻在光刻时所处的环境一样，最外面的电阻的NPIM层要超出EPOLY2 0.55 um，即两根电阻间距的一半。
% a& i0 F' I; \& C, i6 L2 N73 无关的MOS管的THIN要断开，不要连在一起
74 并联的管子注意漏源合并，不要连错线。一个管子的源端也是另一个管子的源端
75 做DRAC检查时最上层的pin的名称用text2标识。Text2的名称要和该pin的名称一样.
* K% p( m, N+ T# Y/ s# V& O5 A' ~76 大CELL不要做DIVA检查,用DRACULE.
1 V0 K( H% e, q: H: x$ W6 V77 Text2层要打在最顶层cell里.如果打在pad上,于最顶层调用此PAD,Dracula无法认出此pin.
78 消除电阻dummy的lvs报错，把nimp和RPdummy层移出最边缘的电阻，不要覆盖dummy
2 R* |8 ~$ u3 k) a1 L5 x7 p/ W% j2 n* E79 06工艺中M1最小宽度0.8,如果用0.8的M1拐线,虽然diva的drc不报错,但DRACULE的drc会在拐角处报错.要在拐角处加宽金属线.
, |9 v$ L' v7 _80 最后DRACULA的lvs通过,但是drc没有过,每次改正drc错误前可把layout图存成layout1,再改正.以免改错影响lvs不通过,旧版图也被保存下来了.
81 Cell中间的连线尽量在低层cell中连完,不要放在高层cell中连,特别不要在最高层cell中连,因为最高层cell的布局经常会改动,走线容易因为cell的移动变得混乱.
6 j2 H6 S( Y$ Z$ B' ~1 n82 DRACULA的drc无法检查出pad必须满足pad到与pad无关的物体间距为10这一规则.
83 做DRACULA检查时开两个窗口,一个用于lvs,一个用于drc.可同时进行,节省时间.
( \, Y9 W- |8 X, S& P容易犯的错误
6 D& M; k% A# U84 电阻忘记加dummy
85 使用NS功能后没有复原(选取AS),之后又进行整图移动操作,结果被NS的元件没有移动,图形被破坏.
5 {- X( x( l, Q3 b1 g86 使用strech功能时错选.每次操作时注意看图左下角提示.
* g/ g8 I$ `+ U1 E6 h! s0 L87 Op电路中输入放大端的管子的衬底不接vddb/vddx.
9 D, k2 G; X/ S+ o; Z+ ^3 x88 是否按下capslock键后没有还原就操作
节省面积的途径
( \# L  P7 M6 f! ?* P89 电源线下面可以画有器件.节省面积.
90 电阻上面可以走线，画电阻的区域可以充分利用。
1 w6 Y" s  f+ k91 电阻的长度画越长越省面积。
92 走线时金属线宽走最小可以节省面积.并不需要走孔的宽度.
; [0 T1 M% x4 s+ [) S: r93 做新版本的layout图时，旧图保存，不要改动或删除。减小面积时如果低层CELL的线有与外层CELL相连，可以从更改连线入手，减小走线面积。
94 版图中面积被device，device的间隔和走线空间分割。减小面积一般从走线空间入手，更改FLOORPLAN