請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

mrj0702

' w5 b& D& v! X) U/ ?& I各位好：
我是在學的大學生，接觸Layout的時間並不長，所以請各位多多包涵與指教。
, Q) F+ ^  t5 j. k
" L" R- T6 y- J* ?我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
, C) R7 f1 Z8 E6 N+ k5 q
  b* f7 C7 C1 y& Y在下線申請的假錯列表中，有幾項DRC Error是不能忽略的。
9 N9 o7 G4 E+ h( R5 m7 aDensity的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)

因為我不會使用輔助工具來自動填補，所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
/ p6 [' K9 _1 \5 {! E: A我試著將M1-M6/dum重疊，不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy，所以這個DRC Error 才會無法去除。
6 k8 \2 j$ p& L0 B6 w$ ~2 ~) s0 b
- ]) ]' D: W4 N有前輩能夠指教如何自動填補Dummy？或者手動補Dummy需要那些金屬層？

mrj0702

謝謝兩位的回答，我已經補上並成功消除這些錯誤了。

ONLYFLYSKY

% f, b/ n$ |$ z: E5 F1 P要補，，因為是看整片WAFFER的面積，至少確保您的部份是OK的 ，所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積，對他們來說是省時省事，也確保在補時不會動到下片的人的晶片，這是看空的部份來禣的。
' V( b0 m6 ]% Z, ^3 l! v/ R

不用補，因為是看整片WAFFER的面積，你的沒補，或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時，製程廠如果可以讓你忽略，也就是他們可以負責這部份。

glavine

那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%