請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

mrj0702

1 p* c6 S5 C3 O; g4 h4 M( @
6 j$ l' m& ^6 G0 P* i, x0 V5 H各位好：
我是在學的大學生，接觸Layout的時間並不長，所以請各位多多包涵與指教。
/ W" K5 G' q4 h! i" B- q  h
/ |" n) s6 ]' \我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
, E: t5 V. L. {1 d9 h* e
在下線申請的假錯列表中，有幾項DRC Error是不能忽略的。
/ ^1 H: Z) o& p0 k2 {8 QDensity的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)

因為我不會使用輔助工具來自動填補，所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
, n# s7 @9 {9 i# q  E/ p% \我試著將M1-M6/dum重疊，不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy，所以這個DRC Error 才會無法去除。

( F. ?( L0 f/ V3 C$ [6 {有前輩能夠指教如何自動填補Dummy？或者手動補Dummy需要那些金屬層？

glavine

那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%

ONLYFLYSKY

( M0 R8 s0 G3 p) S
要補，，因為是看整片WAFFER的面積，至少確保您的部份是OK的 ，所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積，對他們來說是省時省事，也確保在補時不會動到下片的人的晶片，這是看空的部份來禣的。

0 _  x: u. ~3 f3 l
. y6 C) N* a) J8 B6 S5 x* ^$ k不用補，因為是看整片WAFFER的面積，你的沒補，或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時，製程廠如果可以讓你忽略，也就是他們可以負責這部份。

mrj0702

謝謝兩位的回答，我已經補上並成功消除這些錯誤了。