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[問題求助] 請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

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1#
發表於 2012-8-8 19:43:23 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 mrj0702 於 2012-8-8 07:58 PM 編輯 . D/ D' Q7 ^+ Q4 @4 G9 f; X
3 _* ]" o9 X- K
各位好:' V# k+ P) G* `, q& I/ Y. \
我是在學的大學生,接觸Layout的時間並不長,所以請各位多多包涵與指教。
; ^  ~/ j9 b; S) }
9 d# P* X# @4 Q. [' L9 H5 N( w. u% d我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
/ t/ y/ r) D9 f" C% J! S8 q0 Q
( b7 x, o" U7 O& h# d  p在下線申請的假錯列表中,有幾項DRC Error是不能忽略的。8 Y! N3 l2 o( J, g
Density的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)* X: N2 G' k7 o7 f: I( U9 D! L3 l
) S5 H6 q% x  m+ l. b
因為我不會使用輔助工具來自動填補,所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
& l# z0 H# O5 v; j7 P) i我試著將M1-M6/dum重疊,不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
1 [  F' ]$ Z- q5 p9 z- b4 O我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy,所以這個DRC Error 才會無法去除。4 \- b& ~5 u4 q2 z

* M4 j$ w5 _3 E% n7 N* o2 {" ~有前輩能夠指教如何自動填補Dummy?或者手動補Dummy需要那些金屬層?
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2#
發表於 2012-8-14 15:36:56 | 只看該作者
那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
7 n  G$ [% L& @5 O+ Q: L: L, [- H( T其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%
3#
發表於 2012-8-15 02:40:26 | 只看該作者
本帖最後由 ONLYFLYSKY 於 2012-8-15 02:52 AM 編輯 8 [0 Z+ F0 o/ r* X3 e

/ a2 V+ o, q" @" ~; J: X: j* U要補,,因為是看整片WAFFER的面積,至少確保您的部份是OK的 ,所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積,對他們來說是省時省事,也確保在補時不會動到下片的人的晶片,這是看空的部份來禣的。* W: F' F! E: ^* \, f- i5 D
/ {5 q; T3 \3 V6 d
" w) u4 \. m6 O! U& ]$ X
不用補,因為是看整片WAFFER的面積,你的沒補,或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時,製程廠如果可以讓你忽略,也就是他們可以負責這部份。
4#
 樓主| 發表於 2012-8-26 12:29:25 | 只看該作者
謝謝兩位的回答,我已經補上並成功消除這些錯誤了。
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