卷裝進出式電漿蝕刻可建構奈米結構，低成本讓聚合物薄膜具有抗反射特性

globe0968

--真空鍍膜國際貿易展SVC 2012上，Fraunhofer FEP研究人員展示PolAR流程：該方法可讓大面積聚合物薄膜具有抗反射性

德國德勒斯登--(美國商業資訊)--雨水、黑暗以及迎面而來汽車的刺眼光線等強光反射可能擾亂視覺甚至具有危險性。有效的抗反射性不僅對眼鏡和擋風玻璃極為重要，而且還能為太陽能電池、太陽能加熱板和三層玻璃提供最佳入射光。

Fraunhofer IOF和Fraunhofer FEP已攜手Leica Microsystems、Rodenstock和Southwall Europe等工業合作夥伴承接一項聯合專案。該專案名為PolAR（編號16/N0723），由德國聯邦經濟和技術部提供資金支援，致力於開發新型、高效率、持續卷裝進出式流程，生產大面積抗反射聚合物薄膜。

經過最佳化的電漿蝕刻流程可在聚合物薄膜上建構以蛾眼原理發揮效果的結構。該流程可改善聚合物薄膜的基本粗糙度，並建構奈米結構，即分鐘波峰和波谷。由於奈米結構較可見光波長要小，因此不會成為散射中心，薄膜可保持透明。同時，該結構會造成薄膜和外部介質的折射率不斷變化。從而造成薄膜的光反射降低，例如PET薄膜的光反射會從12%降至0.2%。到目前為止，這只有透過四層抗反射系統的複雜鍍膜才能實現。特別是，薄膜的靈活性會受到後者的不利影響。電漿蝕刻除了應用於薄膜，還適合讓曲面底膜具有抗反射特性。

globe0968

儘管蛾眼原理已久為人知，Fraunhofer研究人員實現了決定性技術突破，使用適合大規模生產的流程，在大面積表面建構奈米結構。捲筒進出式實驗工廠中，採用Fraunhofer FEP所用流程，數公里長的薄膜可以每分鐘數公尺的速度獲得抗反射特性。通常用於工業真空鍍膜流程的雙磁控系統可在數小時內提供有效、穩定的離子電流。利用這些資源，Fraunhofer IOF開發的基礎流程轉而被Fraunhofer FEP應用於大面積底膜。該流程已成功應用於PET薄膜、三醋酸纖維素(TAC)薄膜、含氟聚合物薄膜(ETFE)和噴漆膜。

有意者請於5月1日至3日前往在聖克拉拉舉行的SVC 2012參觀攤位（904號），瞭解抗反射膜相關資訊。

SVC 2012電子束和電漿技術簡報相關資訊：www.fep.fraunhofer.de/events

PolAR專案相關資訊：www.fep.fraunhofer.de/en/Geschae ... rodukten/polar.html