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沒辦法畫圖, 大家聯想一下或者自己畫張圖,
4 w; U" A+ s1 O9 o7 S D2 b, T5 t* g x* o( z o; U0 w) N# l
舉例GGNMOS single device for HBM test
5 [ T u) r* ?+ }only 2 pin (I/O and GND)6 x G3 b( J6 n, L& P
5 ~9 K9 y# ~ R% m, G
GGNMOS (drain-I/O; source & gate & sub - GND)
& V9 U/ b3 q4 J9 q4 R9 [記住ESD一個重要rule, drain contact spacing會放大,/ |9 r! e! ]. u3 K
) D6 u' J2 d& u% v2 b0 R假設從drain(I/O)打正電壓, 因為cont rule有放大,HBM pass 3K
7 K' o! a' ?$ x) r; a; ^% { P# c& F. Q2 Q反之, 從GND打負電壓, source cont rule沒有放大, 所以HBM<2K
- ~% b: Q" f) X2 C9 P5 w, b6 A7 f z. O% G1 B- w6 q
這是最簡單的情況下說明了, 如果是circuit, path更多更複雜, ) P7 E& I7 o5 y; W2 P
要考慮可能反過來打負電壓其實是沒有ESD bypass path~
6 n3 z+ U. M6 a7 y; V. U* T8 J, T1 o8 f- g9 G. d: ~+ C
(這樣大家知道為何會有差異了嗎? 各位先進也可以提出其他看法) |
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