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沒辦法畫圖, 大家聯想一下或者自己畫張圖,/ K `9 p' x% v2 l: L" ]6 Y( R
1 I a( e4 b* @7 A) o
舉例GGNMOS single device for HBM test3 k, i9 m$ K/ g \; K. S
only 2 pin (I/O and GND)
3 H D5 Z2 _5 V6 h" Q- ^
3 n7 Q8 v& H u4 `1 EGGNMOS (drain-I/O; source & gate & sub - GND)2 } B5 H. ~$ _- v; |6 I( f# m
記住ESD一個重要rule, drain contact spacing會放大,* P1 N! y& d- c( m
- ~0 T( `; f) g- m3 x, z7 r( J; Z! f假設從drain(I/O)打正電壓, 因為cont rule有放大,HBM pass 3K
7 v6 V) l& q* J4 ]* Y反之, 從GND打負電壓, source cont rule沒有放大, 所以HBM<2K
: G3 ^" V! y+ u( V" V* C/ ]' V0 T2 I! b0 i* t) p
這是最簡單的情況下說明了, 如果是circuit, path更多更複雜, * B3 p) E% N8 x7 @+ P) i% x
要考慮可能反過來打負電壓其實是沒有ESD bypass path~
' L6 C. J- `, E' Q! x0 m# ?3 D2 u) h; m
(這樣大家知道為何會有差異了嗎? 各位先進也可以提出其他看法) |
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