Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？

CHIP321

Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？
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用於製作電阻的POLY間距在LDR中通常要遠大于GATE POLY的間距？較大的間距會帶來什麽收益？是出於PR的考慮or Etch的要求呢？
若是基於精度控制，爲何GATE POLY不做此項有求？

Clemens71

goooooooooooooooooooooooooooooooood

MTK1019

1，FOX 比栅氧要厚，也就是 Etch的时候 接触面是要算立体的吧。FOX厚多少 宽度自然要加多少。
: Z: r+ c9 X2 S1 w; D2，Rploy 是生长在场氧上（FOX），相对栅氧是不平整的。距离大“翘起”效应低一点。
; y6 v0 i2 _* Y+ w9 c个人的一点浅见，多多指教。