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回復 terriours
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2 a3 `3 N J; f$ b+ d之到原理後~~不知道有沒有任何有效的解法可以防止呢!! 謝謝 ...
; f( \0 j( g( K$ S. `( Ssydjeffrey21345 發表於 2011-7-7 13:24 % H, ?7 w, P( b; m7 k& M1 m/ ]( `
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解决天线效应有两个方法:
# Y: Y! r+ b4 j% b. ^5 y方法一:在发生antenna effect的gate连线上进行“跳线”,所谓“跳线”就是将底层metal线换成高层的metal线。这样做的原理简单是:在process的過程中,每一個連接工藝步驟后都會進行一次靜電荷的 釋放,所以在metal上的靜電荷會被放掉,就杜絕了antenna effect的發生;0 V* G) A: e! g
方法二:也可以在連線上加一個對地反向偏執的diode,這樣在工藝製作過程中,就可以自動放電,並不是網上通常說的把這個反向diode擊穿放電,有時候這個反向diode的大小也是要考慮的。+ f. K1 D5 p- x5 q! M
基本上就是這樣的,希望能幫到你。* r6 `' s# M; q7 W6 O
如上所述有錯誤,希望一起討論。 |
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