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回復 terriours - Y7 b2 `3 G: ~: r( ~+ r4 j) ^
' H- E& `, I j, G% e" q' I- Q之到原理後~~不知道有沒有任何有效的解法可以防止呢!! 謝謝 ...( N S6 i2 ~0 d6 G! u. S, X- S# Z
sydjeffrey21345 發表於 2011-7-7 13:24 0 R. D3 e1 q: g+ [
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解决天线效应有两个方法:4 X9 M4 z5 v: N2 S/ Y0 G
方法一:在发生antenna effect的gate连线上进行“跳线”,所谓“跳线”就是将底层metal线换成高层的metal线。这样做的原理简单是:在process的過程中,每一個連接工藝步驟后都會進行一次靜電荷的 釋放,所以在metal上的靜電荷會被放掉,就杜絕了antenna effect的發生;
7 o' \0 H1 c3 w, ~方法二:也可以在連線上加一個對地反向偏執的diode,這樣在工藝製作過程中,就可以自動放電,並不是網上通常說的把這個反向diode擊穿放電,有時候這個反向diode的大小也是要考慮的。
: @' A0 M/ v5 q* f( S基本上就是這樣的,希望能幫到你。* ? A" h/ R1 ? o2 ^+ |: i
如上所述有錯誤,希望一起討論。 |
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