MEMS的多元化應用-運動感測器、麥克風、震盪器 首選？

jiming

哪一家最能為開發者提供一個準備好系統的設備，降低開發時間，費用和程式危險？
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使得系統設計工程師可以縮短長達一年的系統開發時間，同時節省數十萬美元的測試設備成本？

7 b; {3 e. @2 v, S; c: A1 \) q. u9 R, _開發者能很容易升級至更好的性能而無需更改任何設計。可應用於GPS，PND及需偵測高度之手持式裝置。

jiming

奧地利微電子宣布為樓氏電子(Knowles Acoustics)的SiSonic系列微機電系統(MEMS)麥克風提供第十億顆高性能類比IC。SiSonic MEMS麥克風已在MEMS產業中締造成功的紀錄，同時也在這個迅速發展的市場中持續保持領先，全球主要原始設備製造商(OEM)都將受惠於樓氏電子的專業知識。  

# |3 W9 Z# P) U5 V奧地利微電子資深副總裁Franz Faschinger表示，非常自豪能夠與成功掌握這項先進技術的公司合作。我們的目標是繼續為樓氏電子提供優秀的解決方案，在降低成本的同時提高整合前置放大器和調制器電路的性能。樓氏電子總經理Mike Adel則指出，找到適合的IC是SiSonic MEMS麥克風成功的關鍵因素。  

' s* J& S* D5 J0 M* z/ g$ g* v5 v6 }SiSonic以樓氏電子於2002年發布的互補式金屬氧化物半導體(CMOS) /MEMS技術平台為基礎，至今已發產至第五代的矽晶麥克風產品，到目前為止整個產品系列已出貨超過十億顆單位。成熟和不斷推陳出新的設計系列支援高性能、高密度的創新應用，如手機、筆記型電腦、數位相機、可攜式音樂播放器和其他可攜式電子設備。

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【新竹訊】愛發公司（APIC）在台灣成立已有32年，致力於提供業界完整解決方案，是「COVENTOR」在台灣的獨家代理商，並提供完整的技術支援及教育訓練。
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愛發公司副理李平男表示， COVENTOR新產品「MEMS+」是下一代微機電系統產品設計平台，整合EDA軟體Cadence在一個共同的環境設計，將加速MEMS的設計到上市時間。在過去的兩年中， COVENTOR已經見到MEMS設計工具和EDA設計工具之間的整合需求。
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他說，在MEMS設計軟體中，市場上沒有其他的產品能做到像MEMS+一樣完整和直觀。與前一代設計工具相比，利用MEMS+可減少50％以上的設計時間；與傳統的有限元分析相比，計算速度也快了10到100倍。MEMS+與現有的IC設計工具兼容，開闢捷徑讓非MEMS專家（IC designer）將微機電元件設計到產品內。

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該公司表示，提供MEMS+軟體平台能激勵新的微機電系統應用創新，這樣的創新可能在醫療保健產品、綠色能源產品，及未來的消費產品。依據Yole Development market research的市場研究，MEMS市場預計在10年內從60億美元增長至490億美元。MEMS在消費類電子產品的應用，更是MEMS市場的轉折點。

在國科會晶片系統（NSoC）產學橋接計畫，辦理「2009生理偵測及助聽晶片系統技術授權說明會」中，愛發公司特別贊助展出。他說，這個市場的推動是由微機電系統的應用轉向到消費產品，從汽車、噴墨印表機和投影機鏡片應用到現在的智慧型手機、遊戲設備和其他人機介面產品。未來，MEMS 在消費電子產品中將無處不在。

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SensorDynamics新推出用於高階工業、醫療和消費型應用的經濟穩定的微型MEMS陀螺儀系列
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(20100208 17:06:14)SD705、SD706、SD707和SD708採用6x6x2 mm³ QFN封裝，為平台穩定化、運動追蹤和導航系統提供穩定可靠的速率訊號

奧地利格拉茨--(美國商業資訊)--汽車和製造業的感測器製造商SensorDynamics今天推出了四款採用微型QFN40封裝的新型微電子機械系統 (MEMS) 陀螺儀：型號從SD705至SD708。這些傳感器具有較低的撞擊和振動交叉敏感性的特點，憑藉良好的抗噪性能，不管是短時間還是長時間作業都可提供穩定的速率訊號。這使得這些感測器非常適用於行動衛星追蹤或模型直升機偏航控制等高難度測量和控制應用。此外，這些傳感器具有持續工作自我診斷功能，無需中斷測量資料擷取。

SD70x系列的這四款陀螺儀在電源電壓方面有所不同，為3.3V或5V，在敏感軸方向方面也所有所不同，要麼在感測器的裝配平面（X-陀螺儀），要麼垂直於裝配平面（Z-陀螺儀）。所有的感測器都有一個SPI介面，同時提供±100°/s和±300°/s兩種校準的測量範圍。作為控制應用的一種特別優勢，兩種測量範圍的速率訊號在分別達到±128°/s和±512°/s之前不會飽和，因此依然可以檢測到超過測量範圍的運動。這些陀螺儀可以容易地適應客戶的應用，因為它們被校準到超過-40°C至+85°C的整體作業溫度範圍並校準到±5°/s的最大誤差，只需幾個外部元件即可作業。要瞭解更多資訊，請瀏覽http://www.sensordynamics.cc上的數據表。

SD706和SD705現已供貨。1000件的價格是15美元。樣品和評估板可從SensorDynamics網站訂購，網址為http://www.sensordynamics.cc。由於評估板是PWM輸出，因此可以直接用於客戶的應用。

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(20100303 17:01:35)美國市場調查公司BCC Research市調表示，在2008年已達72億美元規模的MEMS市場，預估至2014年為止CAGR將進一步擴大12％。MEMS的利用增加，隨之將帶來MEMS設計軟體、設計服務、專業製造裝置及製造設備等供應原料與零件產業的發生。
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在2010年日商環球訊息有限公司Global Information, Inc. (GII)代理的最新出版研究報告書「Microelectromechanical Systems (MEMS) Technology: Current and Future Markets（全球MEMS技術市場）」中，提供了MEMS市場今後5年最有可能成功商業化的高技術與用途之準則，不光是調查分析全球MEMS技術市場之現狀與預測，還將各種MEMS之材料技術、詳細製造技術、MEMS主要種類與應用部門級產品以及MEMS種類別、應用部門別、主要產品別等等市場規模實績與預測（∼2014年）、專利資訊、主要企業之市場佔有率暨簡介做統一匯整。
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MEMS可說是已確立的產業，然而如何謹慎避免與將來發展性有關的「過剩宣傳」、尤其是對可能實際商業化的MEMS之投資會造成不良影響的過剩宣傳是非常重要的。讓人過度期待的過剩宣傳，日後會讓投資者失望，因而造成如2000年以後在dot.com領域發生的投資資金枯竭情形。
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8 [7 ?. P* g0 r7 T* D6 P訊息來源：日商環球訊息有限公司台灣分公司

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富廸科技發佈適用於平板電腦、小筆電及超薄筆記型電腦的新款小型陣列麥克風軟體和MEMS麥克風積體電路 為Windows 7 和Android用戶帶來全新的Skype VoIP性能與視訊電話通話體驗

(20100304 14:58:02)美國，加州，桑尼維爾市，2010年3月4日- 領先全球的陣列麥克風解決方案供應商富廸科技今日發佈專門為個人電腦所設計的小型陣列麥克風：SAMSoft™ G3軟體和MEMS麥克風積體電路FL201。

小筆電自從2008年推出後已成為個人電腦發展史上成長速度最快的產品。2009年，英特爾推出CULV超薄筆記型電腦平台，帶動可連續使用超過8小時的主流超薄筆記型電腦的普及；而微軟推出的Windows 7 作業系統也帶來全新的電腦使用經驗；2010年1月，蘋果公司推出了萬眾期待的iPad平板電腦。這些新產品重新定義了筆記型電腦的性能、造型、使用模式和電池壽命，也意味著它們需要更先進的消噪和回音消除解決方案，以及更薄更小的數位麥克風。

$ B4 {8 b7 U) w, F2008年在全球銷售的小筆電中，有超過70%的產品使用富廸科技所生產的SAMSoft G2小型陣列麥克風軟體；2009年發行的CULV超薄筆記型電腦中，有一半以上採用富廸科技所生產的SAMSoft G3軟體。

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考量到如小筆電、平板電腦或是CULV等移動性設備對CPU性能及功耗的獨特需求，以及使用時可能的嘈雜環境，富廸科技的SAMSoft G3小型陣列麥克風軟體有以下特性：

• CPU MIPS消耗比使用SAMSoft G2時降低30%，在進行VoIP通話或視訊通話時的多工作業更加流暢，並可延長電池壽命
• 顯著的改善雙向通話和陣列麥克風波束形成，噪音抑制及回聲消除效果遠超過競爭對手產品
$ t$ C; U' ^3 s5 v& ~• 使內建高移動性Wi-Fi或3G上網的小筆電、CULV及平板電腦用戶，在非常嘈雜的環境下進行全雙工免持聽筒VoIP通話及高傳真視訊通信
• 支援所有高解析度音頻轉換晶片
8 Q1 s5 B, {9 s, X0 a+ ^% j) j" P9 `' c• 與Windows 7、Vista、XP和Linux作業系統全面相容

富廸科技的新積體電路FL201可以用於輕薄、小型和可長時間使用的MEMS麥克風解決方案中，並具備以下特性：
• 尺寸為4.72x3.76x1.25厘米，非常適合超薄LED背光液晶顯示器邊框設計；出色的射頻抗擾度解決了在系統中安裝多個天線（如802.11n、藍牙、3G及WiMax等）所產生的需求
* J0 {8 b. `3 }. Z) B" Z$ j• 生產過程採用筆記型電腦視訊鏡頭產品中普遍使用的自動拾取、放置及表面貼裝回流焊接技術
( Q. Q1 {& V1 B& o$ A* ?# ^: W# Z3 m* D• 低功耗、訊號品質更出色，是小筆電、CULV筆記型電腦和平板電腦最理想的陣列麥克風
• 更強的均衡性能與SAMSoft G3相結合，為電腦陣列麥克風解決方案領域建立了前所未有的新標竿

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富廸科技董事長兼首席執行長黃炎松（Paul Huang）博士表示：「憑藉著數百項成功的設計和幾千萬台筆記型電腦的出貨量，富廸科技率先為電腦業帶來了最佳的語音品質和用戶體驗。我們已為量產SAMSoft G3和MEMS麥克風解決方案做好充分準備。我們相信，這款低成本、高效能的新產品將明顯提昇筆記型電腦用戶的VoIP和視訊通話體驗。」

SAMSoft G3和Fortemedia FL201 IC樣品目前已開始大量提供給電腦設備製造商、設計商、網路視訊鏡頭製造商和麥克風製造商等合作夥伴。
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富廸科技簡介
: ^9 Q7 g# ^/ _, ^富廸科技有限公司（Fortemedia）是一家私人控股的高科技企業，總部位於美國加州桑尼維爾市（Sunnyvale），在全球共設有8個分部。從2000年起，富廸科技應用其SAM專利技術研發混合信號系統晶片和嵌入式軟體，並推廣於汽車、移動設備、電腦、手機和VoIP應用。富廸科技解決方案在非線性回聲消除、波束形成雜訊抑制和風雜訊抑制方面表現出眾，實現了對小型陣列麥克風模組的進一步整合。通過與鍵盤的完美融合，它將推動導航目標輸入、音樂搜索和檢索、人機遊戲介面控制等移動設備上的語音識別類「殺手級」應用的普及。截至2009年12月份，富廸科技已成功推出10個積體電路產品系列，並向市場提供了超過九千萬件產品。富廸科技客戶涵蓋不同領域，如：宏基、華碩、明基、神達、惠普、摩托羅拉、Jaguar、西門子、新力、夏普、NEC、起亞汽車、中興、樂金、聯想、微軟、三星、索尼愛立信、富士通、富士通-西門子、現代、日產汽車、羅技、宇龍、夏新、國虹及創新科技等。

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【台北訊】志聖擁有電漿核心技術超過10年以上，針對SEMI、PV、LED、PCB等產業深耕經營，並有卓越的銷售實績。今年針對MEMS、 3D/IC、CIS製程，在SEMICOM China展出九款plasma新機，提供適用於SEMI、TFT、LED、PV等產業，可運用於製程技術包括導體蝕刻、晶圓薄化及應力釋放、介電層蝕 刻、拋光及表面處理、與技術研究與開發等的機種,提供各產業及製程最完整的解決方案。

MEMS （微電子機械）製程方面，志聖提供sapphire 3200 DRIE系統機種，DRIE製程已用於許多不同的MEMS元件製造，志聖採用EMP電漿源設計技術，增加磁場密度，對蝕刻率表面的均勻性有極顯著效果。尤 其在矽晶圓的蝕刻製程，可精確地控制蝕刻深度與角度，對關鍵尺寸也能做到極佳的控制表現。
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3D IC製程上，志聖的Ruby 4200 TSV system對於先進3D-IC應用，特別針對矽通孔（TSVs）製程而設計的機種，有極佳選擇比與高蝕刻率效果。rudy 4200機種與其他競爭者的最大區別是成品上呈現更佳的效果，基材側壁呈現光滑的銳面效果，不會產生像採用Bosch機台蝕刻後所產生的扇形側壁狀 況。

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全球最大的消費性電子和可攜式裝置MEMs感測器供應商意法半導體，進一步擴大動作感測器產品陣容，推出一款高性能三軸數位輸出陀螺儀。新產品內嵌FIFO(First In First Out)記憶體模組，可實現更有效率的電源管理。
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6 h/ f9 C/ @- S; c. X作為意法半導體MEMS產品陣容中的最新產品，L3G4200DH陀螺儀整合一個片上FIFO記憶體模組，最多可儲存96個量值，可分成32個x-、y-和 z-軸數據組合。這項功能可使主處理器不必連續讀取感測器的角速率資料，延長處理器在睡眠模式的時間，進而大幅降低系統總體功耗。應用設計人員可以根據幾種不同的作業模式設置FIFO記憶體，當儲存數值達到一個理想值時，記憶體可發出一個專用浮水印中斷要求。
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L3G4200DH 3軸數位MEMS陀螺儀的設計和製造採用意法半導體銷售量超過7億個的動作感測器的製程技術。意法半導體擁有最先進的產品設計能力、管理整個供應鏈的能力以及MEMS專用8英吋晶圓製造廠的高產能，這一業界獨一無二的優勢組合可縮短產品開發週期，加快高性能、具成本優勢的感測器產品的上市時間。

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意法半導體的所有MEMS陀螺儀均採用業界獨創的三條垂直軸向 共用一個動作感測架構的概念，這項突破性概念可以消除軸與軸之間的訊號干擾，進而提高各種消費性電子和工業控制設備的測量精確度和可靠性，例如，遊戲機、可攜式裝置、動作追踪以及相機防手震應用的先進使用者介面。

意法半導體部門副總裁暨MEMS、感測器和高性能類比產品事業部總經理 Benedetto Vigna表示：「作為消費性電子市場最大的MEMS感測器供應商，我們持續為開發符合市場需求的產品而努力。由於消費性電子市場對於功耗的要求相當高，意法半導體的設計人員都在產品開發上融入功耗意識(power-conscious)的設計概念，以進一步提高晶片和系統的效率。也是這一原因，我們在最新一代的加速度計和陀螺儀內嵌了應用層和FIFO記憶體模組。」
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7 F4 Y) @$ d2 H+ g/ A* q6 |' I/ T意法半導體這款最新的MEMS陀螺儀在長時間使用和惡劣溫度環境下仍擁有出色的穩定性，客戶在實際應用中無需再做任何校正。透過內嵌的低通和高通濾波器，使用者能夠限定所選頻寬，利用先進的濾波功能，降低噪音並提高應用靈活性。

這個創新的產品架構將感測器與ASIC介面整合在一個4x4x1mm的超小型封裝內，可解決現在和未來的消費性電子應用的空間限制問題。這款數位陀螺儀並提供16位元資料輸出，使用者可以設定全部量程，量程範圍從±250 dps 到 ±2000 dps，低量程數值用於高精準慢速動作測量，而高量程則用於測量超快速的手勢和動作。

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【2010年5月 5日．台北訊】消費性電子產品混合訊號半導體領先供應商Wolfson Microelectronics (LSE: WLF.L)證實將推出新的數位矽晶微機電系統(micro-electro-mechanical systems; MEMS)麥克風系列產品。

　　在全球許多領先的消費性電子製造商殷切期盼下Wolfson即將推出數位MEMS麥克風，這款麥克風結合了低功耗、完美的音訊捕捉、傑出的訊號雜訊比(SNR)、強化的靈敏耐受性、以及採用迷你薄型(low profile)封裝，成為包括行動電話、筆電、可攜式媒體播放機、數位相機和可攜式導航裝置等行動應用產品的理想方案。
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; ]  x: p; d) }/ c　　WM7210和WM7220數位MEMS麥克風將補強Wolfson於2009年推出的類比MEMS麥克風系列。新的數位元件採用Wolfson專屬的CMOS/MEMS薄膜技術，提供高可靠性和傑出效能，並能承受自動化流焊(flow solder)組裝所需的高溫，不會像傳統麥克風遭到損毀。

　　Wolfson的數位MEMS麥克風將在未來幾個月內正式推出。

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晶翔空中飛鼠可空中操作 如同拿著Wii的把手一樣，可當簡報器、多媒體遙控器、遊戲手把、桌面雷射滑鼠
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1 q  H; B1 \9 N【新竹訊】晶翔微系統股份有限公司成立於2006年元月，位於新竹科學工業園區矽導研發中心，微機電系統產品應用專業廠，專注於微機電元件之模組應用設計服務。其經營團隊累積近4年在微機電系統單軸線性加速度計之測試及應用經驗，及時切入慣性感測模組市場，提供微機電元件之模組應用設計服務。

0 ?, v0 F' N$ D6 e& k/ A　　晶翔總經理倪昌德表示，2009年開始，晶翔微系統產品線進一步擴展，推出「空中飛鼠動作感知模組」、「互動多媒體遙控器模組」及「空中動作感知簡報器模組」，讓公司踏入消費性電子市場的領域，該公司的3D滑鼠「Navii Airmouse空中飛鼠」採用全新人體工學的設計，平衡了桌面及空中使用的握感，運用MEMS微機電動作感知技術，讓滑鼠也可以像拿著Wii一樣，藉手勢感應，在空中任意操作。可以做許多延伸與創新。類似功能的模組，針對商務與娛樂需求，可當簡報器、多媒體遙控器、遊戲手把、桌面雷射滑鼠等，市場競爭力十足。

　　

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倪昌德說，數位電視（IPTV）可望明年上市，公司所推出的微機電 3D模組，最大市場看好數位電視的遙控器，將來使用數位電視上網，新型的遙控器將是商機所在。

　　創新實踐新產品概念的實力受到肯定，如今，晶翔微系統進一步成為品牌客戶「微機電應用模組與系統整合的虛擬研發中心」（Virtu al RD Center for MEMS Module Application ＆ System Integr ation），為各種不同應用領域的產業，提供完整的微機電整合方案。

  P( |" k; ]% J　　公司經營團隊累積多年的微機電技術研發與產品應用發展，在微機電應用產品的競爭優勢上領先台灣其他同產業的競爭對手。營運模式為替客戶開發微機電元件在IT市場的應用為主，以慣性感測模組為技術載具。與客戶密切合作，協助客戶快速切入市場，維持台灣的資訊電子產業之優勢。