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GLOBALFOUNDRIES與SVTC合作,加速推展微機電系統(MEMS)晶圓量產
達成CMOS量產將有助MEMS市場持續快速成長 ( n% U. Q( [5 r
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2010年10月13日(台灣.新竹)- GLOBALFOUNDRIES今天宣佈與SVTC 技術公司結成戰略聯盟,加速進行微機電系統(MEMS)的量產製造。這項合作著重於技術開發合作,將有助GLOBALFOUNDRIES達成目標,成為MEMS晶圓廠的領導者。 $ F, `* B. J: L! R9 y8 p+ @
, e$ N, _8 V0 Z7 D. Z微機電系統(MEMS)是半導體市場成長最快的區塊之一,MEMS應用廣泛,從車用感應器、到噴墨印表機、到高階智慧型手機與遊戲控制器都有MEMS的應用。然而MEMS的製造過去主要局限於特定的晶圓製造廠,採用「單一製程、單一產品」的模式。為了讓MEMS市場得以持續快速成長,GLOBALFOUNDRIES正採取積極策略,透過與CMOS流程類似的標準化模式,將MEMS從特定製造平台轉移到量產平台。 4 P, D0 Q9 H% i4 R n6 g3 m- g
; }: ^8 y# ?6 f( M( r* U200mm晶圓事業部進階副總裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡總經理Raj Kumar表示︰“在MEMS轉移到CMOS量產方面,GLOBALFOUNDRIES萬事具備,可望扮演領導角色。我們在MEMS製造方面向來表現優異,也有許多以CMOS為基礎的科技可以運用到MEMS上。目前已有計畫要增加基礎建設與專業技術來支援在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產線,目標是在2011年第三季前開始MEMS裝置的量產。” |
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