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[問題求助] Laser Trim

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1#
發表於 2009-3-6 23:04:54 | 顯示全部樓層 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
Dear All:. C) T( A- f7 i

, a7 L+ ?) g8 p7 W0 f2 B" k0 B2 @目前遇到的問題是 laser trim 完發現有時電壓有變動有時不會
, L6 {% b" q& n4 ?% U
' s" n1 P6 v( W5 X, r與 laser energy 無關, 因為有掃過能量, 結果也是有時會動有時不會動5 \9 W: ~; X! }! E/ z- Q2 w( y

& z5 r- _# Z( V用 OM 確認 Metal fuse 斷的很漂亮, 用 FIB 掃卻發現不會動的 die fuse 沒有斷的很乾淨( H6 H$ u* i5 \: a9 Y" H3 ~( `+ u
; u" E' r( D' i9 l0 K  Z
不曉得各位大大知不知道是什麼在影響?4 i: E+ i0 G& R1 m) W" O  P7 S7 Q

6 J3 Q. j6 z4 ^另外就是, fuse 上面是有開窗的, 不過距離上面有很深的厚度
, f4 ], A+ Q3 i( I. J7 a6 T0 Q7 z
0 g, S5 _1 L. m& `不曉得會不會影響 laser energy 打到 fuse 時能量已經降低以致於打不斷 fuse
3 k; x- i! T7 n# |# J) U, A. V+ \7 f2 h# u4 Z  b# s3 l
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! m+ F0 u7 }' w. ]: j( O

5 k: u$ H1 `6 Y$ j[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:44 PM 編輯 ]
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