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[問題求助] Laser Trim

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1#
發表於 2009-3-6 23:04:54 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
Dear All:
3 m4 ]* R( w: R% o6 ], E9 v% ^4 p; t$ d
目前遇到的問題是 laser trim 完發現有時電壓有變動有時不會% {% D7 G; ?8 b9 L
. C1 x) Z) f9 y# A1 Y
與 laser energy 無關, 因為有掃過能量, 結果也是有時會動有時不會動
: M: p- T: i# F7 x. b% v' F% m% G+ ?* x  P) T
用 OM 確認 Metal fuse 斷的很漂亮, 用 FIB 掃卻發現不會動的 die fuse 沒有斷的很乾淨3 H+ s* d9 F8 Q4 E6 t
0 F5 R" {; T! G- }: S
不曉得各位大大知不知道是什麼在影響?/ r/ B! M; }. ^9 D1 ~; E

1 \6 R" S  v+ C) _) J另外就是, fuse 上面是有開窗的, 不過距離上面有很深的厚度
* L/ C! j! Y5 s! ?! }$ z3 i9 E; Z4 [# W2 Q% j
不曉得會不會影響 laser energy 打到 fuse 時能量已經降低以致於打不斷 fuse- X5 M5 P, v1 A

- M) F9 s( e( v: r( ^1 l2 C以下是 Fuse & trim 的相關討論:
2 [0 y% H) \& |poly fuse 的問題 / C# d2 _9 H3 [) }6 q
e-fuse?  
* z% g2 {2 _8 Spoly fuse 大約多少能量便可以燒斷? + j/ i+ @2 ~0 a1 \7 x
如何判断poly fuse 已经blown  
1 d. u9 Y9 j0 ?+ B有關poly FUSE的不錯paper給大家參考  
* U" A( \5 g6 W) |做完laser trim後內部的電路被打傷的情況嗎?  % r2 p1 {: H) I) \+ `& P  q: D
Trimming method?   # s7 F" m, H% {" E! ?0 w7 o
Current Sensing Resistor Trimming!!   
/ v7 d8 U5 N8 [, x# ?! d请教做laser trim的注意事项  ' t. s" W' l" f3 [/ V
Current trimming 要如何做呢?  
+ o7 ~9 r9 p" h- k* H- P
$ a6 R( t, ^- l% x$ H  B
( t# a. c: b0 l6 l/ C5 X
+ R6 O  k% v0 {6 o6 K6 ~, u: ?. H

, D0 A% l; g4 [, l* g[ 本帖最後由 sjhor 於 2009-3-17 06:44 PM 編輯 ]
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6#
發表於 2009-10-10 11:48:07 | 只看該作者
poly fuse周圍可以用metal圍起來) `7 q. }0 O2 _- L# i3 g$ W3 [
像searl ring依樣 可以增加可靠度
5#
發表於 2009-10-1 10:32:46 | 只看該作者
如果希望PACKAGE後在燒FUSE, 這樣可以嗎?
4#
發表於 2009-4-2 22:21:15 | 只看該作者
我有遇過這種現象,完全是LASER CUT沒把FUSE 完全CUT斷,你可試著請設定機台的人員,一根FUSE分成小能量打兩次,這樣比較有可能可以打斷!以上這是我的經驗,若是你有做PAD的話,也可以試著用電錶正反各量一次,看是否阻值一樣,若一樣表示FUSE沒斷,有慘痛經驗的我!
3#
發表於 2009-3-13 13:46:28 | 只看該作者
封裝後的壓電效應,請封裝廠增加一層PI coating可以改善這問題。
2#
發表於 2009-3-9 14:10:08 | 只看該作者
通常laser trim,發生此一情形,可能是laser trim fuse 彼此之間放的太近.
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