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[問題求助] 請問oxide是做什麼用的?

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1#
發表於 2008-12-5 11:39:35 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問oxide是做什麼用的?
, f  n0 n+ I1 n4 W: Y請問thin oxide跟gate oxide跟field oxide各是做什麼用的?
- {3 U- C- I9 c& |# V有點搞不太清楚,還有在製成上有什麼不一樣?
( s- k1 `( Q! b- f( K感謝
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2#
發表於 2008-12-9 18:03:45 | 只看該作者
oxide基本是做绝缘的,thin oxide与gate oxide是一回事吧,因为通常gate ox就是最薄的oxide。
8 o9 c! B6 B4 H没有晶体管的地方就是field ox。楼主找本制程简介的书看下就知道了
3#
發表於 2008-12-9 20:30:59 | 只看該作者
若有錯誤也請各位大大修正指導7 y9 ]# Y/ I  a' T; V4 v2 g6 z

2 h. @! z% m3 N# g3 cfield oxide 場氧化層概略來說主要是用來阻隔所使用,它也可以是metal與metal間的絕緣層。
8 C' u$ v3 i5 s- [) x* t/ Q; H; ]' h( Z# _# P+ L6 o8 F
gate oxide 閘極氧化層可以為最薄的氧化層,主要為金氧半導體閘極之下的氧化層,厚度跟晶片中所需操作的電壓成對等關係。
. {) h2 n4 A1 J, q! b" R. K3 Y4 @
4 J  r" L, e  q7 V; h1 Q* m製程的部份因為相當繁瑣複雜,可以找些製程的書籍參考
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