新製程,technology file該如何編寫?

averyer

各位前輩想請教關於offgrid的問題,
小弟目前剛接一個project,
手邊資料有
(1). design rule,裡面layer層min grid->0.005
(2). drc command file, precision:1  resolution:1000
, D- u8 J% X+ B! j1 g0 y
% \/ J2 j. P4 D% j6 y" s0 s因為手邊無technology file,所以需自己編寫,
8 q* m; j& e5 {. S, p5 W但在technology file裡有,  dbscale
: }9 s3 L3 B* _( T6 N  L                                      dbresolution
7 R! v$ e7 Y$ W5 Z( t. }                                      xgridspacing
1 b5 [1 O" X- [5 ~% g1 Y3 z                                      ygridspacing
0 ?$ T8 w2 N4 W9 d                                      majorgridration
& J; ]# a! _4 n
上述指令分別代表什麼意思呢?
- j& {2 Z9 k7 Z9 U
我一開始是
3 R- G8 l$ Z  q5 P0 V      dbscale          0.001
* f6 ^- k  s3 C8 H- J         dbresolution  0.001
- i& n& f- V4 g4 D) q( f: `: N         xgridspacing  0.001
         ygridspacing  0.001
# _3 ^6 {6 _3 }. }         majorgridration 5
但會有offgrid error,是我那裡搞錯了嗎?

motofatfat

改成
. a% b# \4 b6 l* U' s- C& Sdbscale          0.001
         dbresolution  0.005
         xgridspacing  0.005
         ygridspacing  0.005
0 Q9 ?, s9 A8 G( Y- B' {2 w4 {         majorgridration 5
試試

ninesky

dbscale 尺標最小單位 通常是0.001
- m5 W: J" d& c  o$ Y5 k5 s7 tdbresolution  游標可移動最小距離 通常是0.005  較低階的製程會用0.01
/ Q9 K, @2 i6 V& r/ dxgridspacing  圖上兩個小點的水平距離
; w4 |) L$ _. D# a) s$ gygridspacing  圖上兩個小點的垂直距離
0 O+ u- |, b, ?3 S& o. X$ @' A1 a) Lmajorgridration  幾個小點會做一個大的點 通常是5
6 F; q3 C- E' Q$ n# F7 D& W
如果會有off grid
7 b+ T! J" L7 J就是因為你的可移動距離設的太小
小於drc command file的設定
+ v& R2 s) G2 p9 A+ C有兩個選擇
5 R( y1 c) K; l) N% P, S, P! I將tf的dbresolution調大
! B. L  C5 d! C或是將drc command file的設定調小